[實用新型]一種穩定性好的晶圓放置架

有效

• 申請號: 202022093655.1
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN212967638U
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 秦可勇;何彬
• 申請（專利權）人: 江蘇眾晶半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海塔科專利代理事務所(普通合伙) 31380
• 代理人: 耿恩華

本實用新型屬于晶圓放置技術領域，尤其一種穩定性好的晶圓放置架，包括放置架本體，所述放置架本體內部中部靠上方間隔均勻固定連接有第一放置板，所述放置架本體中部靠下方間隔均勻固定連接有第二放置板，所述放置架本體下方左右兩端均固定連接有支撐桿的上端，所述支撐桿下端固定連接有支腳上表面中部，所述接地穩定板位于支腳的外端，所述第一穩定桿的右端和第二穩定桿的左端均固定連接有磁性塊，所述磁性塊位于連接桿上方固定的配重穩定三角塊遠離磁性板的側面，該穩定性好的晶圓放置架具有當晶圓放置架受到沖擊后，晶圓放置架不會傾倒，提高晶圓放置架的穩定性能，避免了晶圓放置架傾倒而造成晶圓損壞的特點。

技術領域

本實用新型涉及晶圓放置技術領域，尤其涉及一種穩定性好的晶圓放置架。

背景技術

晶圓是指制作硅半導體積體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。晶圓的主要加工方式為片加工和批加工，即同時加工一片或多片晶圓。

晶圓放在轉運架上，轉運架需要放在放置架上，現在的晶圓放置架是由不銹鋼制作而成，而現在的晶圓放置架由下方的支腳支撐，當晶圓放置架受到沖擊后，晶圓放置架會傾倒，穩定性能較差，而造成晶圓的損壞。

為解決上述問題，本申請中提出一種穩定性好的晶圓放置架。

實用新型內容

(一)實用新型目的

為解決背景技術中存在的技術問題，本實用新型提出一種穩定性好的晶圓放置架，具有當晶圓放置架受到沖擊后，晶圓放置架不會傾倒，提高晶圓放置架的穩定性能，避免了晶圓放置架傾倒而造成晶圓損壞的特點。

(二)技術方案

為解決上述問題，本實用新型提供了一種穩定性好的晶圓放置架，包括放置架本體，所述放置架本體內部中部靠上方間隔均勻固定連接有第一放置板，所述放置架本體中部靠下方間隔均勻固定連接有第二放置板，所述放置架本體下方左右兩端均固定連接有支撐桿的上端，所述支撐桿下端固定連接有支腳上表面中部，所述支腳內部中部上下表面均滑動連接有滑塊，兩個所述滑塊之間固定連接有磁性板，所述磁性板左右兩側均設置有兩個配重穩定三角塊，兩個所述配重穩定三角塊之間固定連接有連接桿，所述連接桿和支腳下側面不接觸，所述支腳左側面中部滑動連接有第一穩定桿，所述支腳右側面中部滑動連接有第二穩定桿，所述第一穩定桿左端下方固定連接有接地穩定板，所述第二穩定桿右端下方固定連接有接地穩定板，所述接地穩定板位于支腳的外端，所述第一穩定桿的右端和第二穩定桿的左端均固定連接有磁性塊，所述磁性塊位于連接桿上方固定的配重穩定三角塊遠離磁性板的側面。

優選的，所述第一放置板的重量和數量少于第二放置板的重量和數量，所述第一放置板和第二放置板上表面均固定連接有減震海綿墊。

優選的，所述支腳左右兩側面均固定連接有翼板，所述翼板表面開設有兩個定位螺孔，所述定位螺孔相配合于螺釘。

優選的，所述支腳下側面開設有兩個收納槽，所述連接桿位于收納槽的中部，所述收納槽和配重穩定三角塊相匹配。

優選的，所述連接桿的傾斜角度為五度到十度，所述連接桿上端固定的配重穩定三角塊和磁性板相接觸。

優選的，所述支撐桿內部左右兩側面均固定連接有粗糙面板，所述支撐桿內部盛放有阻尼油液。

優選的，所述所述磁性板和磁性塊的磁性相斥。

本實用新型的上述技術方案具有如下有益的技術效果：