[實用新型]一種穩定性好的晶圓放置架

有效

• 申請號: 202022093655.1
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN212967638U
• 公開（公告）日: 2021-04-13
• 發明（設計）人: 秦可勇;何彬
• 申請（專利權）人: 江蘇眾晶半導體有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 上海塔科專利代理事務所(普通合伙) 31380
• 代理人: 耿恩華

1.一種穩定性好的晶圓放置架，包括放置架本體(1)，其特征在于，所述放置架本體(1)內部中部靠上方間隔均勻固定連接有第一放置板(2)，所述放置架本體(1)中部靠下方間隔均勻固定連接有第二放置板(3)，所述放置架本體(1)下方左右兩端均固定連接有支撐桿(7)的上端，所述支撐桿(7)下端固定連接有支腳(6)上表面中部，所述支腳(6)內部中部上下表面均滑動連接有滑塊(14)，兩個所述滑塊(14)之間固定連接有磁性板(12)，所述磁性板(12)左右兩側均設置有兩個配重穩定三角塊(15)，兩個所述配重穩定三角塊(15)之間固定連接有連接桿(17)，所述連接桿(17)和支腳(6)下側面不接觸，所述支腳(6)左側面中部滑動連接有第一穩定桿(13)，所述支腳(6)右側面中部滑動連接有第二穩定桿(16)，所述第一穩定桿(13)左端下方固定連接有接地穩定板(11)，所述第二穩定桿(16)右端下方固定連接有接地穩定板(11)，所述接地穩定板(11)位于支腳(6)的外端，所述第一穩定桿(13)的右端和第二穩定桿(16)的左端均固定連接有磁性塊(21)，所述磁性塊(21)位于連接桿(17)上方固定的配重穩定三角塊(15)遠離磁性板(12)的側面。

2.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述第一放置板(2)的重量和數量少于第二放置板(3)的重量和數量，所述第一放置板(2)和第二放置板(3)上表面均固定連接有減震海綿墊(4)。

3.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述支腳(6)左右兩側面均固定連接有翼板(8)，所述翼板(8)表面開設有兩個定位螺孔(9)，所述定位螺孔(9)相配合于螺釘(10)。

4.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述支腳(6)下側面開設有兩個收納槽(18)，所述連接桿(17)位于收納槽(18)的中部，所述收納槽(18)和配重穩定三角塊(15)相匹配。

5.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述連接桿(17)的傾斜角度為五度到十度，所述連接桿(17)上端固定的配重穩定三角塊(15)和磁性板(12)相接觸。

6.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述支撐桿(7)內部左右兩側面均固定連接有粗糙面板(19)，所述支撐桿(7)內部盛放有阻尼油液(20)。

7.根據權利要求1所述的一種穩定性好的晶圓放置架，其特征在于，所述磁性板(12)和磁性塊(21)的磁性相斥。