[實用新型]一種芯片晶圓加工用運輸設備

有效

• 申請號: 202022091007.2
• 申請日: 2020-09-22
• 公開（公告）號: CN213340320U
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 任曉偉
• 申請（專利權）人: 復漢海志（江蘇）科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 鹽城平易安通知識產權代理事務所(普通合伙) 32448
• 代理人: 陳彩芳

1.一種芯片晶圓加工用運輸設備，包括設備主體（1），其特征在于：所述設備主體（1）的上端外表面設置有支撐板（7），所述支撐板（7）的一側設置有擋板（8），所述擋板（8）的一側設置有弧形板（9），所述擋板（8）的外側設置有移動桿（10），所述移動桿（10）的一端設置外表面設置有移動手柄（12），所述移動桿（10）的外側設置有限位塊（13），所述設備主體（1）的上端靠近移動桿（10）的外側設置有固定柱（14），所述設備主體（1）的一側外表面設置有滑槽（16），所述滑槽（16）的內側設置有滑塊（17），所述滑塊（17）的一側設置有收集盒（19），所述滑塊（17）的一側外表面設置有固定掛鉤（18），所述收集盒（19）的一側設置有固定掛槽（21）。

2.根據權利要求1所述的一種芯片晶圓加工用運輸設備，其特征在于：所述設備主體（1）的下端外表面設置有支撐柱（2），所述支撐柱（2）的數量為四組并呈矩形排布，所述支撐柱（2）為長方體結構，所述設備主體（1）的上端外表面設置有輸送帶（3），且輸送帶（3）的橫截面積小于設備主體（1）的橫截面積，所述輸送帶（3）為非金屬材料制成，所述輸送帶（3）為可塑結構。

3.根據權利要求2所述的一種芯片晶圓加工用運輸設備，其特征在于：所述輸送帶（3）的內部設置有轉動輥輪（4），且轉動輥輪（4）為圓柱結構，所述轉動輥輪（4）數量為兩組并呈對稱排布，所述轉動輥輪（4）的橫截面積大于輸送帶（3）的橫截面積，所述設備主體（1）的下端設置有電動機（5），且電動機（5）與設備主體（1）之間為導電連接，所述電動機（5）的一側外表面與轉動輥輪（4）的一側外表面設置有皮帶（6），且皮帶（6）為耐磨材料制成。

4.根據權利要求1所述的一種芯片晶圓加工用運輸設備，其特征在于：所述支撐板（7）的數量為兩組并呈對稱排布，所述支撐板（7）的長度小于設備主體（1）的長度，所述支撐板（7）為扁狀長方體結構，所述擋板（8）的橫截面積小于支撐板（7）的橫截面積，所述擋板（8）的兩端設置有弧形板（9），且弧形板（9）為弧形結構，所述弧形板（9）的數量為四組并呈對稱排布，所述移動桿（10）為圓柱結構，所述移動桿（10）數量為四組并呈對稱排布。

5.根據權利要求1所述的一種芯片晶圓加工用運輸設備，其特征在于：所述支撐板（7）的外表面貫穿有移動孔（11），且移動孔（11）為圓形，所述移動孔（11）的直徑大于移動桿（10）的直徑，所述移動手柄（12）為塑膠材料制成，所述移動手柄（12）數量與移動桿（10）的數量相同并呈對稱排布，所述移動桿（10）的外側設置有限位塊（13），且限位塊（13）為圓弧結構，所述固定柱（14）的內部嵌有限位槽（15），且限位槽（15）與限位塊（13）之間相匹配。

6.根據權利要求1所述的一種芯片晶圓加工用運輸設備，其特征在于：所述設備主體（1）的一側嵌有滑槽（16），且滑槽（16）的長度小于設備主體（1）的長度，所述滑塊（17）為十字結構，所述滑塊（17）與滑槽（16）之間相匹配，所述固定掛鉤（18）為L形結構，所述固定掛鉤（18）的數量為兩組并呈對稱排布，所述收集盒（19）的一側外表面設置有移動把手（20），且移動把手（20）為長方體結構，所述收集盒（19）的一側嵌有固定掛槽（21），且固定掛槽（21）數量為兩組并呈對稱排布，所述固定掛槽（21）與固定掛鉤（18）之間相匹配。