[實(shí)用新型]紅外光學(xué)薄膜鍍膜機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022081431.9
• 申請日: 2020-09-21
• 公開（公告）號(hào): CN213388868U
• 公開（公告）日: 2021-06-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王為城
• 申請（專利權(quán)）人: 廈門立揚(yáng)光學(xué)科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/30
• 分類號(hào): C23C14/30;C23C14/54;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/02
• 代理公司: 廈門市精誠新創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 35218
• 代理人: 李寧

1.紅外光學(xué)薄膜鍍膜機(jī)，其特征在于：包括真空室腔體、工轉(zhuǎn)架、第一修正板、第二修正板、第一電子槍、第二電子槍、等離子體源、布?xì)庀到y(tǒng)、真空計(jì)、膜厚儀和控制單元；在真空室腔體內(nèi)的上部設(shè)置一可轉(zhuǎn)動(dòng)的工轉(zhuǎn)架用于承載鏡片；在真空室腔體內(nèi)的下部中心位置設(shè)置等離子體源；在真空室腔體內(nèi)的下部且位于等離子體源的左右兩側(cè)設(shè)置第一電子槍和第二電子槍；在真空室腔體內(nèi)的中部對應(yīng)第一電子槍和第二電子槍的槍口分別設(shè)置第一修正板和第二修正板，第一修正板和第二修正板分別固定在第一驅(qū)動(dòng)單元和第二驅(qū)動(dòng)單元的安裝桿上，第一驅(qū)動(dòng)單元和第二驅(qū)動(dòng)單元設(shè)置在真空室腔體外；在真空室腔體內(nèi)的下部還設(shè)置布?xì)夤艿溃細(xì)夤艿劳ㄟ^真空室腔體外的布?xì)庀到y(tǒng)與外界管道連接；在真空室腔體外安裝膜厚儀，膜厚儀的探頭伸入真空室腔體內(nèi)的工轉(zhuǎn)架中；在真空室腔體的側(cè)壁上安裝真空計(jì)；第一電子槍、第二電子槍、等離子體源、第一驅(qū)動(dòng)單元、第二驅(qū)動(dòng)單元、布?xì)庀到y(tǒng)、真空計(jì)和膜厚儀都與控制單元連接。

2.如權(quán)利要求1所述的紅外光學(xué)薄膜鍍膜機(jī)，其特征在于：所述工轉(zhuǎn)架呈倒扣的碗形，底部具有旋轉(zhuǎn)軸與第三驅(qū)動(dòng)單元連接，由第三驅(qū)動(dòng)單元帶動(dòng)工轉(zhuǎn)架進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第三驅(qū)動(dòng)單元與控制單元連接。

3.如權(quán)利要求1所述的紅外光學(xué)薄膜鍍膜機(jī)，其特征在于：所述第一電子槍和第二電子槍的槍口上方都安裝擋板。