[實用新型]一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022055703.8
• 申請日: 2020-09-18
• 公開（公告）號: CN213236853U
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發(fā)明（設計）人: 黃中山;王虎斌
• 申請（專利權）人: 盛吉盛（寧波）半導體科技有限公司
• 主分類號: F16M11/42
• 分類號: F16M11/42;F16M11/04;F16M11/18;F16F15/02;C23C16/50;G01C9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置，包括減震盒、頂座、S7?300PLC控制器、安裝板和固定螺桿；所述減震盒底部的四個角固定安裝有支撐機構，所述減震盒底部靠近支撐機構的位置處固定安裝有萬向輪，所述減震盒的頂部設有頂座。本實用新型設置了固定螺桿、凹型固定架、彈簧和頂板，當設備放置到安裝板上后，可以擰動固定螺桿，然后固定螺桿帶動凹型固定架進行移動，將兩組凹型固定架卡在設備的兩側進行固定，然后壓縮彈簧，使彈簧前端的頂板頂在設備的前后側進行固定，從而可以將設備固定安裝在安裝板上，通過此種固定方式使的該裝置可以安裝不同類型大小的設備，使用性能更佳。

技術領域

本實用新型涉及船舶技術領域，具體為一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置。

背景技術

等離子體化學氣相沉積(plasmachemical vapor deposition)是指用等離子體激活反應氣體，促進在基體表面或近表面空間進行化學反應，生成固態(tài)膜的技術，按產(chǎn)生等離子體的方法，分為射頻等離子體、直流等離子體和微波等離子體CVD等，等離子體化學氣相沉積設備在使用的時候需要隨時保持水平狀態(tài)，因此需要使用到等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置。

現(xiàn)有的等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置存在的缺陷是：

1、現(xiàn)有的等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置缺少減震緩沖的功能，在受到外界震動影響時，容易對等離子體化學氣相沉積設備內(nèi)部的一些電器部件造成損壞。

2、現(xiàn)有的等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置一般都是針對特定型號的設備進行使用，無法滿足不同型號大小的設備進行安裝，為此我們提出一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置來解決現(xiàn)有的問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種等離子體化學氣相沉積設備水平度的自動調(diào)節(jié)裝置，包括減震盒、頂座、S7-300PLC控制器、安裝板和固定螺桿；所述減震盒底部的四個角固定安裝有支撐機構，所述減震盒底部靠近支撐機構的位置處固定安裝有萬向輪，所述減震盒的頂部設有頂座，所述頂座頂部前側的中央位置處固定安裝有S7-300PLC控制器，所述頂座的頂部通過電動推桿固定安裝有安裝板，所述電動推桿通過導線與S7-300PLC控制器電性連接，所述安裝板底部的四個角處固定安裝有FLS-CH10水平傳感器，所述FLS-CH10水平傳感器通過導線與S7-300PLC控制器電性連接，所述安裝板頂部的兩側固定安裝有焊接板，所述焊接板的一側通過固定螺桿固定安裝有凹型固定架，所述凹型固定架內(nèi)部的兩端通過彈簧固定安裝有頂板。

優(yōu)選的，所述減震盒的內(nèi)部放置有減震墊，所述減震盒頂部的四個角設有通孔。

優(yōu)選的，所述頂座底部的四個角固定安裝有插桿，插桿的底端之間固定安裝有壓板，壓板位于減震盒的內(nèi)部。

優(yōu)選的，所述固定螺桿的外側端固定安裝有擰塊，所述固定螺桿的內(nèi)側端設有軸承座。

優(yōu)選的，所述頂板的前側黏貼有防護墊，所述頂板的一側固定安裝有連接桿。

優(yōu)選的，所述凹型固定架內(nèi)部的一側設有滑槽，滑槽的內(nèi)部滑動安裝有滑塊，滑塊與連接桿固定連接。

優(yōu)選的，所述支撐機構包括螺管、支撐螺桿和底座，螺管的底端固定安裝有支撐螺桿，支撐螺桿的底端固定安裝有底座。

優(yōu)選的，所述S7-300PLC控制器正面的頂部設有顯示屏，所述S7-300PLC控制器正面的底部設有控制鍵，所述S7-300PLC控制器的一側通過導線連接有插頭。

與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是：