[實(shí)用新型]一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202022047768.8
• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN213255465U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭永強(qiáng);張宇;高輝;孫國平;歐陽俊波;韓長峰;馮宗寶;錢磊;張德龍
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇集萃分子工程研究院有限公司
• 主分類號(hào): B05C9/02
• 分類號(hào): B05C9/02;B05C11/10;B05C11/02
• 代理公司: 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32232
• 代理人: 黃麗莉

本實(shí)用新型公開一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備，包括：底座；涂布平臺(tái)，設(shè)置于底座上，且與底座滑動(dòng)連接，涂布平臺(tái)用于承載涂布基底；模頭裝置，包括：模頭架以及設(shè)置于模頭架上的模頭，在模頭內(nèi)部設(shè)有溶液通道，模頭底部的溶液通道出液口處設(shè)有模唇，模頭能夠上下升降；供液裝置，與溶液通道的入液口連接，為模頭提供溶液；負(fù)壓裝置，包括：負(fù)壓盒，負(fù)壓盒通過抽真空管路與真空泵連接，負(fù)壓盒設(shè)置于涂布平臺(tái)上，且與涂布平臺(tái)滑動(dòng)連接。本實(shí)用新型在模頭和涂布基底之間增加了負(fù)壓，一方面可以有效減小涂布區(qū)域的氣壓，另一方面給液橋施加一個(gè)負(fù)壓拉力，使液橋更穩(wěn)定，從而大大降低孔的產(chǎn)生。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及鈣鈦礦薄膜制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備。

背景技術(shù)

近年來，鈣鈦礦太陽能電池因其優(yōu)異的光伏特性、簡單廉價(jià)的制備工藝受到了廣泛關(guān)注。鈣鈦礦薄膜可以通過簡單且廉價(jià)的溶液涂布工藝制備，在商業(yè)化太陽能電池上有著巨大的潛力。鈣鈦礦薄膜對表觀形貌要求很高，尤其要嚴(yán)格控制孔的形成，否則會(huì)對光電轉(zhuǎn)化效率產(chǎn)生很大影響。

目前，剛性基底鈣鈦礦薄膜的大面積涂布，最常使用的是傳統(tǒng)的狹縫平板涂布設(shè)備。涂布時(shí)，涂布液在模唇與基底之間形成液橋，隨著模頭和基底相對運(yùn)動(dòng)，涂布液通過液橋均勻的鋪展在基底表面。由于基底表面微觀上是凹凸不平的，而且，液橋豎直垂落于基底表面，受力不平衡，液橋穩(wěn)定性差，很容易有氣體摻雜進(jìn)液橋，最終在鈣鈦礦薄膜表面形成孔。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提出了一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備，其在模頭和涂布基底之間增加了負(fù)壓，一方面可以有效減小涂布區(qū)域的氣壓，另一方面給液橋施加一個(gè)負(fù)壓拉力，使液橋更穩(wěn)定，從而大大降低孔的產(chǎn)生。

為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備，包括：

底座；

涂布平臺(tái)，設(shè)置于底座上，且與底座滑動(dòng)連接，涂布平臺(tái)用于承載涂布基底；

模頭裝置，包括：模頭架以及設(shè)置于模頭架上的模頭，在模頭內(nèi)部設(shè)有溶液通道，模頭底部的溶液通道出液口處設(shè)有模唇，模頭能夠上下升降；

供液裝置，與溶液通道的入液口連接，為模頭提供溶液；

負(fù)壓裝置，包括：負(fù)壓盒，負(fù)壓盒通過抽真空管路與真空泵連接，負(fù)壓盒設(shè)置于涂布平臺(tái)上，且與涂布平臺(tái)滑動(dòng)連接。

本實(shí)用新型一種帶有負(fù)壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設(shè)備，其在模頭和涂布基底之間增加了負(fù)壓，一方面可以有效減小涂布區(qū)域的氣壓，另一方面給液橋施加一個(gè)負(fù)壓拉力，使液橋更穩(wěn)定，從而大大降低孔的產(chǎn)生。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可做如下改進(jìn)：

作為優(yōu)選的方案，涂布平臺(tái)上設(shè)有滑槽，負(fù)壓盒的滑動(dòng)端置于滑槽內(nèi)，且能夠沿滑槽滑動(dòng)。

采用上述優(yōu)選的方案，結(jié)構(gòu)簡單，負(fù)壓盒滑動(dòng)更順暢。

作為優(yōu)選的方案，在滑槽與負(fù)壓盒滑動(dòng)端之間設(shè)有密封件。

采用上述優(yōu)選的方案，在涂布時(shí)，密封環(huán)境使得使液橋更穩(wěn)定。

作為優(yōu)選的方案，負(fù)壓盒包括：

盒前部，盒前部的內(nèi)部形狀與模頭涂布端的外輪廓相匹配，涂布時(shí)，模頭涂布端與盒前部貼緊；

盒后部，盒后部底面與涂布平臺(tái)承載面之間設(shè)有滑動(dòng)間隙。

采用上述優(yōu)選的方案，涂布時(shí)，模頭與盒前部貼緊，以起到密封作用。盒后部與涂布平臺(tái)留有很小的滑動(dòng)間隙，涂布時(shí)與涂布平臺(tái)產(chǎn)生相對滑動(dòng)，既不產(chǎn)生較大的滑動(dòng)摩擦，又可起到密封作用。