[實用新型]一種帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備

有效

• 申請號: 202022047768.8
• 申請日: 2020-09-17
• 公開（公告）號: CN213255465U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 鄭永強;張宇;高輝;孫國平;歐陽俊波;韓長峰;馮宗寶;錢磊;張德龍
• 申請（專利權）人: 江蘇集萃分子工程研究院有限公司
• 主分類號: B05C9/02
• 分類號: B05C9/02;B05C11/10;B05C11/02
• 代理公司: 蘇州華博知識產權代理有限公司 32232
• 代理人: 黃麗莉

1.一種帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，包括：

底座；

涂布平臺，設置于所述底座上，且與所述底座滑動連接，所述涂布平臺用于承載涂布基底；

模頭裝置，包括：模頭架以及設置于所述模頭架上的模頭，在所述模頭內部設有溶液通道，所述模頭底部的溶液通道出液口處設有模唇，所述模頭能夠上下升降；

供液裝置，與所述溶液通道的入液口連接，為所述模頭提供溶液；

其特征在于，還包括：

負壓裝置，包括：負壓盒，所述負壓盒通過抽真空管路與真空泵連接，所述負壓盒設置于所述涂布平臺上，且與所述涂布平臺滑動連接。

2.根據權利要求1所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述涂布平臺上設有滑槽，所述負壓盒的滑動端置于所述滑槽內，且能夠沿所述滑槽滑動。

3.根據權利要求2所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，在所述滑槽與所述負壓盒滑動端之間設有密封件。

4.根據權利要求1所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述負壓盒包括：

盒前部，所述盒前部的內部形狀與所述模頭涂布端的外輪廓相匹配，涂布時，所述模頭涂布端與所述盒前部貼緊；

盒后部，所述盒后部底面與所述涂布平臺承載面之間設有滑動間隙。

5.根據權利要求1所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述負壓盒內設有負壓檢測裝置，所述負壓檢測裝置和真空泵分別與控制裝置電連接。

6.根據權利要求1-5任一項所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述涂布平臺通過導軌導槽結構與所述底座滑動連接。

7.根據權利要求1-5任一項所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述涂布平臺包括：

上水平板，用于承載涂布基底；

下支撐板，設置于所述上水平板的下方；

調節組件，用于調節所述上水平板與下支撐板之間的距離；

固定組件，用于連接所述上水平板與下支撐板。

8.根據權利要求7所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，在所述上水平板上設有為所述上水平板提供熱量的加熱元件。

9.根據權利要求1-5任一項所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述供液裝置包括儲液槽、供液泵及供液管路，所述供液泵的進口和出口通過所述供液管路分別與所述儲液槽及所述模頭上的溶液通道入液口連接。

10.根據權利要求1-5任一項所述的帶有負壓裝置的鈣鈦礦薄膜涂布設備，其特征在于，所述模頭架為橫跨所述涂布平臺的龍門式結構。