[實用新型]一種螺紋立式組裝硅舟

有效

• 申請號: 202022006159.8
• 申請日: 2020-09-14
• 公開（公告）號: CN213184239U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 范明明;韓穎超;李長蘇
• 申請（專利權）人: 杭州盾源聚芯半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 鄭汝珍

1.一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，包括：

安裝板，安裝板包括天板和法蘭，天板和法蘭間隔布置；

溝棒，溝棒布置在天板和法蘭之間，溝棒上沿其長度方向設有若干個溝齒，溝棒的數目為若干個且沿安裝板的周向間隔布置；

安裝板靠近溝棒的端面上設有對溝棒限位的卡槽，卡槽中設有沿安裝板厚度方向貫通的安裝孔，溝棒與安裝板通過緊固件可拆卸連接；

溝棒包括兩根前溝棒和一根后溝棒，前溝棒和后溝棒上處于同一高度的溝齒配合形成硅片放置槽，兩個前溝棒之間的距離大于前溝棒和后溝棒之間的距離。

2.根據權利要求1所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，安裝板的中心位置設有沿其厚度方向貫通的減料孔，若干個溝齒沿溝棒的長度方向平行等間距布置。

3.根據權利要求2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，卡槽包括兩個前卡槽和一個后卡槽，后卡槽沿安裝板的徑向布置，前卡槽與后卡槽之間的夾角為銳角，兩個前卡槽之間的夾角為鈍角。

4.根據權利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，卡槽沿安裝板法向的投影呈直角梯形狀，卡槽沿其長度方向的一端貫通安裝板的周面，安裝孔的數目為兩個且沿卡槽的長度方向間隔布置。

5.根據權利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述安裝孔為柱形沉孔。

6.根據權利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述緊固件為螺栓，螺栓由硅材料制成，溝棒沿其長度方向的兩端均設有內螺紋孔，內螺紋孔與螺栓螺紋配套。

7.根據權利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述硅舟由高純度的多晶硅制成。

8.根據權利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，溝齒的截面呈直角梯形狀，溝齒沿其寬度方向的兩側分別設有一個鏤空區域。