[實用新型]一種螺紋立式組裝硅舟有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202022006159.8 | 申請日： | 2020-09-14 |
| 公開（公告）號： | CN213184239U | 公開（公告）日： | 2021-05-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 范明明;韓穎超;李長蘇 | 申請（專利權(quán)）人： | 杭州盾源聚芯半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 杭州杭誠專利事務(wù)所有限公司 33109 | 代理人： | 鄭汝珍 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 螺紋 立式 組裝 | ||
1.一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，包括：
安裝板，安裝板包括天板和法蘭，天板和法蘭間隔布置；
溝棒，溝棒布置在天板和法蘭之間，溝棒上沿其長度方向設(shè)有若干個溝齒，溝棒的數(shù)目為若干個且沿安裝板的周向間隔布置；
安裝板靠近溝棒的端面上設(shè)有對溝棒限位的卡槽，卡槽中設(shè)有沿安裝板厚度方向貫通的安裝孔，溝棒與安裝板通過緊固件可拆卸連接；
溝棒包括兩根前溝棒和一根后溝棒，前溝棒和后溝棒上處于同一高度的溝齒配合形成硅片放置槽，兩個前溝棒之間的距離大于前溝棒和后溝棒之間的距離。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，安裝板的中心位置設(shè)有沿其厚度方向貫通的減料孔，若干個溝齒沿溝棒的長度方向平行等間距布置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，卡槽包括兩個前卡槽和一個后卡槽，后卡槽沿安裝板的徑向布置，前卡槽與后卡槽之間的夾角為銳角，兩個前卡槽之間的夾角為鈍角。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，卡槽沿安裝板法向的投影呈直角梯形狀，卡槽沿其長度方向的一端貫通安裝板的周面，安裝孔的數(shù)目為兩個且沿卡槽的長度方向間隔布置。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述安裝孔為柱形沉孔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述緊固件為螺栓，螺栓由硅材料制成，溝棒沿其長度方向的兩端均設(shè)有內(nèi)螺紋孔，內(nèi)螺紋孔與螺栓螺紋配套。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，所述硅舟由高純度的多晶硅制成。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述一種螺紋立式組裝硅舟，其特征在于，溝齒的截面呈直角梯形狀，溝齒沿其寬度方向的兩側(cè)分別設(shè)有一個鏤空區(qū)域。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
