[實(shí)用新型]一種超薄硅片加工工作臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021986496.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213196857U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程進(jìn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州芯海半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B9/06
• 分類號(hào): B24B9/06;B24B41/06;B24B55/06;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 51289
• 代理人: 杜夢(mèng)

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種超薄硅片加工工作臺(tái)，包括支撐板、抽氣泵、固定板和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述支撐板的底部四角對(duì)稱焊接固定有四組支撐腿，所述支撐板的底部焊接固定有安裝架，所述安裝架的底部通過(guò)螺栓固定有抽氣泵，所述安裝架內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)座轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定管，所述固定管的上半部延伸至支撐板的上方，所述固定管的表面焊接固定有固定板，所述支撐板表面的右半部通過(guò)螺栓固定有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的驅(qū)動(dòng)桿上通過(guò)螺栓固定有安裝板，所述安裝板的表面通過(guò)螺栓固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述支撐板的背部通過(guò)螺栓固定有連接板。該超薄硅片加工工作臺(tái)，不僅能夠?qū)杵M(jìn)行有效的倒角作業(yè)，而且能夠?qū)Φ菇钱a(chǎn)生的粉塵進(jìn)行有效的吸附。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種超薄硅片加工工作臺(tái)。

背景技術(shù)

硅是一種很典型的半導(dǎo)體材料，其在地球表面的含量?jī)H次于氧，被廣泛應(yīng)用與二極管、三極管、晶閘管、場(chǎng)效應(yīng)管和各種集成電路，航空航天，光導(dǎo)纖維等多種領(lǐng)域中，是非常重要的材料。

在硅片的加工過(guò)程中，從硅晶錠切成硅片后，如果直接進(jìn)行磨片，容易產(chǎn)生崩邊，從而引起硅片報(bào)廢，因此在磨片之前需要對(duì)硅片進(jìn)行倒角。現(xiàn)有的倒角方法是工人利用砂輪沿著單晶硅片的外緣進(jìn)行打磨以去除毛刺，最終實(shí)現(xiàn)了單晶硅片的倒角，上述方法需人工手持砂輪進(jìn)行打磨，費(fèi)時(shí)費(fèi)力的同時(shí)倒角效率低下。

因此針對(duì)這一現(xiàn)狀，迫切需要設(shè)計(jì)和生產(chǎn)一種超薄硅片加工工作臺(tái)，以滿足實(shí)際使用的需要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種超薄硅片加工工作臺(tái)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種超薄硅片加工工作臺(tái)，包括支撐板、抽氣泵、固定板和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述支撐板的底部四角對(duì)稱焊接固定有四組支撐腿，所述支撐板的底部焊接固定有安裝架，所述安裝架的底部通過(guò)螺栓固定有抽氣泵，所述安裝架內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)座轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定管，所述抽氣泵的進(jìn)氣管與固定管相連通，所述固定管的上半部延伸至支撐板的上方，所述固定管的表面焊接固定有固定板，所述支撐板表面的右半部通過(guò)螺栓固定有電動(dòng)伸縮桿，所述電動(dòng)伸縮桿的驅(qū)動(dòng)桿上通過(guò)螺栓固定有安裝板，所述安裝板的表面通過(guò)螺栓固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端焊接固定有驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸的頂部通過(guò)螺栓固定有打磨盤(pán)，所述支撐板的背部通過(guò)螺栓固定有連接板。

優(yōu)選的，所述支撐板的底部通過(guò)螺栓固定有旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端焊接固定有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的底部通過(guò)螺栓固定有主動(dòng)齒輪，所述固定管的外壁上焊接固定有與主動(dòng)齒輪相嚙合的從動(dòng)齒輪。

優(yōu)選的，所述連接板的背部通過(guò)螺栓固定有吸風(fēng)機(jī)，所述吸風(fēng)機(jī)下方的連接板上通過(guò)螺栓固定有集塵箱，所述連接板內(nèi)開(kāi)設(shè)有空腔，所述連接板靠近固定板一側(cè)的外壁上開(kāi)設(shè)有多組吸塵孔，所述吸風(fēng)機(jī)的進(jìn)氣管延伸至連接板的空腔內(nèi)，所述吸風(fēng)機(jī)的出氣管延伸至集塵箱內(nèi)。

優(yōu)選的，所述固定板內(nèi)開(kāi)設(shè)有負(fù)壓腔室，所述固定管與固定板內(nèi)的負(fù)壓腔室相連通，所述固定板的表面開(kāi)設(shè)有多組吸附孔。

優(yōu)選的，所述集塵箱上通過(guò)鉸鏈鉸接固定有密封門(mén)，密封門(mén)上通過(guò)螺栓固定有把手，所述集塵箱的頂板上焊接固定有排氣管。

本實(shí)用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點(diǎn)：該超薄硅片加工工作臺(tái)，通過(guò)將需要倒角的硅片放置在固定板的表面，抽氣泵工作使固定板內(nèi)形成負(fù)壓，從而將硅片固定在固定板的表面，旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)固定板轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)打磨盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)電動(dòng)伸縮桿推動(dòng)打磨盤(pán)向硅片的方向進(jìn)行移動(dòng)，從而對(duì)硅片進(jìn)行打磨作業(yè)，避免了人工打磨，提高了硅片的倒角效率；通過(guò)吸風(fēng)機(jī)的設(shè)置，能夠在對(duì)硅片倒角的過(guò)程中，對(duì)倒角產(chǎn)生的粉塵進(jìn)行吸附，避免粉塵污染環(huán)境，該超薄硅片加工工作臺(tái)，不僅能夠?qū)杵M(jìn)行有效的倒角作業(yè)，而且能夠?qū)Φ菇钱a(chǎn)生的粉塵進(jìn)行有效的吸附。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的主視圖；

圖3為本實(shí)用新型的左視圖；