[實(shí)用新型]一種超薄硅片加工工作臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021986496.1
• 申請(qǐng)日: 2020-09-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213196857U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程進(jìn)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州芯海半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B24B9/06
• 分類(lèi)號(hào): B24B9/06;B24B41/06;B24B55/06;B24B47/12;B24B47/22
• 代理公司: 成都明濤智創(chuàng)專(zhuān)利代理有限公司 51289
• 代理人: 杜夢(mèng)

1.一種超薄硅片加工工作臺(tái)，包括支撐板(1)、抽氣泵(3)、固定板(8)和驅(qū)動(dòng)電機(jī)(11)，其特征在于：所述支撐板(1)的底部四角對(duì)稱(chēng)焊接固定有四組支撐腿，所述支撐板(1)的底部焊接固定有安裝架(2)，所述安裝架(2)的底部通過(guò)螺栓固定有抽氣泵(3)，所述安裝架(2)內(nèi)通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)座轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定管(6)，所述抽氣泵(3)的進(jìn)氣管與固定管(6)相連通，所述固定管(6)的上半部延伸至支撐板(1)的上方，所述固定管(6)的表面焊接固定有固定板(8)，所述支撐板(1)表面的右半部通過(guò)螺栓固定有電動(dòng)伸縮桿(9)，所述電動(dòng)伸縮桿(9)的驅(qū)動(dòng)桿上通過(guò)螺栓固定有安裝板(10)，所述安裝板(10)的表面通過(guò)螺栓固定有驅(qū)動(dòng)電機(jī)(11)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(11)的輸出端焊接固定有驅(qū)動(dòng)軸，驅(qū)動(dòng)軸的頂部通過(guò)螺栓固定有打磨盤(pán)(12)，所述支撐板(1)的背部通過(guò)螺栓固定有連接板(13)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超薄硅片加工工作臺(tái)，其特征在于：所述支撐板(1)的底部通過(guò)螺栓固定有旋轉(zhuǎn)電機(jī)(4)，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)(4)的輸出端焊接固定有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的底部通過(guò)螺栓固定有主動(dòng)齒輪(5)，所述固定管(6)的外壁上焊接固定有與主動(dòng)齒輪(5)相嚙合的從動(dòng)齒輪(7)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超薄硅片加工工作臺(tái)，其特征在于：所述連接板(13)的背部通過(guò)螺栓固定有吸風(fēng)機(jī)(14)，所述吸風(fēng)機(jī)(14)下方的連接板(13)上通過(guò)螺栓固定有集塵箱(15)，所述連接板(13)內(nèi)開(kāi)設(shè)有空腔，所述連接板(13)靠近固定板(8)一側(cè)的外壁上開(kāi)設(shè)有多組吸塵孔，所述吸風(fēng)機(jī)(14)的進(jìn)氣管延伸至連接板(13)的空腔內(nèi)，所述吸風(fēng)機(jī)(14)的出氣管延伸至集塵箱(15)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超薄硅片加工工作臺(tái)，其特征在于：所述固定板(8)內(nèi)開(kāi)設(shè)有負(fù)壓腔室，所述固定管(6)與固定板(8)內(nèi)的負(fù)壓腔室相連通，所述固定板(8)的表面開(kāi)設(shè)有多組吸附孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種超薄硅片加工工作臺(tái)，其特征在于：所述集塵箱(15)上通過(guò)鉸鏈鉸接固定有密封門(mén)，密封門(mén)上通過(guò)螺栓固定有把手，所述集塵箱(15)的頂板上焊接固定有排氣管。