[實(shí)用新型]一種芯片晶圓加工用減薄機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021985254.0
• 申請日: 2020-09-11
• 公開（公告）號: CN213197044U
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 程進(jìn)
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州芯海半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B47/12;B24B47/22;B24B41/00
• 代理公司: 成都明濤智創(chuàng)專利代理有限公司 51289
• 代理人: 杜夢

本實(shí)用新型公開了一種芯片晶圓加工用減薄機(jī)，包括底板一側(cè)對稱設(shè)置于底板頂端一側(cè)的多組側(cè)板，所述底板頂端的兩側(cè)對稱開設(shè)有多組供T型滑塊滑動設(shè)置的T型滑槽，且底板底端的四角均固定焊接有支撐腿，多組所述T型滑塊的頂端固定焊接有矩形板，且矩形板的頂端固定設(shè)置有防裂裝置，多組所述側(cè)板的頂端固定焊接有頂板，且頂板的頂端固定設(shè)置有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的活塞桿穿過頂板的一端固定連接有安裝板，且安裝板是兩側(cè)均固定焊接有延伸板。該芯片晶圓加工用減薄機(jī)，可起到緩沖效果，防止其破裂，降低了生產(chǎn)成本，還可減輕電動機(jī)產(chǎn)生的晃動，提高了精度，降低了晶圓表面的粗糙度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于片晶圓加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種芯片晶圓加工用減薄機(jī)。

背景技術(shù)

晶圓制造工藝中，對晶片的尺寸精度、幾何精度、表面潔凈度以及表面微晶格結(jié)構(gòu)提出很高要求，因此在幾百道工藝流程中，不可采用較薄的晶片，只能采用一定厚度的晶片在工藝過程中傳遞、流片，通常在集成電路封裝前，需要對晶片背面多余的基體材料去除一定厚度。這一工藝過程稱之為晶片背面減薄工藝，對應(yīng)裝備就是晶片減薄機(jī)。

目前的減薄機(jī)在減薄過程中還存在著一些問題：1、由于晶圓表面的中間和邊緣的厚度不一致，在去除其中間厚度的時候會因?yàn)槠鋸?qiáng)度不同，導(dǎo)致破裂，提高了生產(chǎn)成本；2、由于電動機(jī)帶動研磨盤旋轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生晃動，進(jìn)而降低了精度，增加了晶圓表面的粗糙度。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種芯片晶圓加工用減薄機(jī)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種芯片晶圓加工用減薄機(jī)，包括底板以及對稱設(shè)置于底板頂端一側(cè)的多組側(cè)板；

所述底板頂端的兩側(cè)對稱開設(shè)有多組供T型滑塊滑動設(shè)置的T型滑槽，且底板底端的四角均固定焊接有支撐腿，多組所述T型滑塊的頂端固定焊接有矩形板，且矩形板的頂端固定設(shè)置有防裂裝置；

多組所述側(cè)板的頂端固定焊接有頂板，且頂板的頂端固定設(shè)置有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿的活塞桿穿過頂板的一端固定連接有安裝板，且安裝板的兩側(cè)均固定焊接有延伸板，所述電動伸縮桿底端的中心固定設(shè)置有第一電機(jī)，且第一電機(jī)的第一電機(jī)軸固定連接有研磨盤；

所述防裂裝置包括多組呈矩形陣列設(shè)置于矩形板頂端的承重柱，多組所述承重柱的頂端固定焊接有支撐板，且支撐板頂端的中心固定設(shè)置有底座。

優(yōu)選的，多組所述側(cè)板的一側(cè)配合延伸板均開設(shè)有供延伸板活動設(shè)置的通槽，且延伸板遠(yuǎn)離安裝板的一端對稱開設(shè)有多組供直線軸承固定設(shè)置的圓槽，所述直線軸承內(nèi)活動設(shè)置有固定連接于通槽內(nèi)的導(dǎo)向桿。

優(yōu)選的，所述矩形板底端的中心構(gòu)造有U型滑塊，且底板的頂端配合U型滑塊開設(shè)有供U型滑塊活動設(shè)置的配合槽，所述U型滑塊遠(yuǎn)離側(cè)板的一側(cè)居中開設(shè)有供絲杠嚙合的螺紋孔，且絲杠延伸出配合槽的一端固定連接有旋鈕。

優(yōu)選的，所述支撐板底端的中心固定設(shè)置有第二電機(jī)，且第二電機(jī)的第二電機(jī)軸穿過底座的一端固定連接有活動板，所述底座的頂端和活動板的底端均開設(shè)有供滾子滑動設(shè)置的環(huán)形滑槽。

優(yōu)選的，所述活動板的頂端呈環(huán)形陣列設(shè)置有多組圓桿，且多組圓桿的外緣面均活動設(shè)置有彈簧，多組所述滾子的外緣面活動設(shè)置有抵接彈簧的配合板，且圓桿穿過的一端固定焊接有限位塊，所述配合板頂端的中心開設(shè)有定位槽，且定位槽的底端粘接設(shè)置有橡膠墊。包括底板一側(cè)對稱設(shè)置于底板頂端一側(cè)的多組側(cè)板；

所述底板頂端的兩側(cè)對稱開設(shè)有多組供T型滑塊滑動設(shè)置的T型滑槽，且底板底端的四角均固定焊接有支撐腿，多組所述T型滑塊的頂端固定焊接有矩形板，且矩形板的頂端固定設(shè)置有防裂裝置；