[實用新型]一種微波激發式PVD鍍膜設備有效
| 申請號： | 202021984853.0 | 申請日： | 2020-09-11 |
| 公開（公告）號： | CN213232474U | 公開（公告）日： | 2021-05-18 |
| 發明（設計）人： | 張紅星;張小健;樊天柱 | 申請（專利權）人： | 昆山市正行電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微波 激發 pvd 鍍膜 設備 | ||
1.一種微波激發式PVD鍍膜設備，包括裝置主體(1)，其特征是：所述裝置主體(1)的兩側固定有冷卻箱(2)，所述裝置主體(1)與冷卻箱(2)之間連接有出氣管(11)，所述冷卻箱(2)的頂部安裝有真空泵(4)，所述真空泵(4)的輸出端連接有輸氣管(5)，所述輸氣管(5)的頂端固定有變向閥(7)，所述變向閥(7)的一側連接有排氣管(6)，所述變向閥(7)的另一端連接有延伸至裝置主體(1)內部的進氣管(8)，所述裝置主體(1)的內部下方固定有擋板(17)，所述裝置主體(1)的內部固定有固定桿(16)，所述固定桿(16)的外表面固定有靶材(15)，所述裝置主體(1)的頂部安裝有電機(10)，所述電機(10)的輸出端連接有旋轉桿(12)，所述旋轉桿(12)，的外表面上方與下方均固定有第一隔板(14)，兩個所述第一隔板(14)之間固定有連桿(13)，所述裝置主體(1)的背部安裝有微波發射器(18)，所述微波發射器(18)的輸出端連接有延伸至裝置主體(1)內部的導管(20)，所述裝置主體(1)的外表面通過轉軸連接有密封門(9)。
2.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于：所述裝置主體(1)的外表面有操作面板(3)，且所述操作面板(3)與真空泵(4)、電機(10)、微波發射器(18)和變向閥(7)電性連接。
3.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于：所述出氣管(11)的一端沿冷卻箱(2)的縱軸中心線向下傾斜。
4.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于：所述擋板(17)與裝置主體(1)均采用金屬制造而成，且所述擋板(17)與裝置主體(1)的內部光滑。
5.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于：所述裝置主體(1)與第二隔板(19)通過軸承箱連接，且所述裝置主體(1)與第二隔板(19)相接觸的面套有密封圈。
6.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于；所述連桿(13)設置有六個，且六個所述連桿(13)呈環形陣列狀分布在兩個第一隔板(14)之間。
7.根據權利要求1所述的一種微波激發式PVD鍍膜設備，其特征在于：所述冷卻箱(2)設置有兩個，且兩個所述冷卻箱(2)沿裝置主體(1)的縱軸中心線對稱設置。
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