[實(shí)用新型]一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021962395.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-10
• 公開（公告）號(hào): CN213690349U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓明新;潘景偉;龔炳建;黎微明;李翔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G05D23/22
• 分類號(hào): G05D23/22
• 代理公司: 南京知識(shí)律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 劉豐

本實(shí)用新型涉及一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，包括主控制器、溫控器、恒流源系統(tǒng)和注電腔體，所述恒流源系統(tǒng)用于輸出電流至注電腔體為注電腔體提供注電電流，注電腔體用于對(duì)待注電硅片進(jìn)行注電并采集溫度信息發(fā)送給溫控器，溫控器用于接收來自注電腔體采集的溫度信息發(fā)送給主控制器，主控制器用于根據(jù)注電腔體采集的溫度信息控制恒流源系統(tǒng)的輸出電流。本實(shí)用新型在溫度閉環(huán)控制的基礎(chǔ)上，通過系統(tǒng)自調(diào)整方式解決現(xiàn)有電注入工藝設(shè)備中溫度波動(dòng)較大對(duì)產(chǎn)品影響的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及太陽能電池片電注入設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的太陽能電池片電注入設(shè)備多采用恒定電流注入方式，在電注入過程中電流一般保持恒定。但是這種電注入過程未考慮注入過程中硅片相應(yīng)電壓的波動(dòng)情況，當(dāng)電壓波動(dòng)較大時(shí)，會(huì)造成注入過程中的溫度偏差過大，甚至超過40攝氏度，明顯超出正常的工作溫度范圍，對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量影響較大。

隨著工業(yè)技術(shù)水平的不斷進(jìn)步，在工業(yè)化過程中溫度做為控制參數(shù)是趨勢，溫度控制的準(zhǔn)確穩(wěn)定與否直接影響產(chǎn)品質(zhì)量的好壞。一般而言，溫度控制是以溫度作為被控變量的開環(huán)或閉環(huán)控制系統(tǒng)，其控制方法諸如溫度閉環(huán)控制，具有流量前饋的溫度閉環(huán)控制，溫度為主參數(shù)、流量為副參數(shù)的串級(jí)控制等。所謂溫度閉環(huán)控制，通常指輸出端通過“旁鏈”等方式將溫度相關(guān)控制信息回饋，從而對(duì)輸入端進(jìn)行調(diào)整，達(dá)到自動(dòng)控制的目的。

綜上，如何在電注入設(shè)備中實(shí)現(xiàn)溫度穩(wěn)定控制，設(shè)計(jì)出電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，對(duì)于太陽能電池片電注入設(shè)備而言是非常有必要的。

發(fā)明內(nèi)容

為解決現(xiàn)有的技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制的系統(tǒng)及方法。

本實(shí)用新型的具體內(nèi)容如下：包括主控制器、溫控器、恒流源系統(tǒng)和注電腔體，所述恒流源系統(tǒng)用于輸出電流至注電腔體為注電腔體提供注電電流，注電腔體用于對(duì)待注電硅片進(jìn)行注電并采集溫度信息發(fā)送給溫控器，溫控器用于接收來自注電腔體采集的溫度信息發(fā)送給主控制器，主控制器用于根據(jù)注電腔體采集的溫度信息控制恒流源系統(tǒng)的輸出電流。

進(jìn)一步而言，所述注電腔體包括上電極和下電極，所述上電極和下電極中均設(shè)有測溫傳感器，所述測溫傳感器采集溫度信息；所述溫控器包含多個(gè)輸入通道，所述輸入通道接收測溫傳感器采集的溫度信息。

進(jìn)一步而言，還包括執(zhí)行機(jī)構(gòu)，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)與主控制器通信連接，在主控制器的控制下控制注電腔體的上電極和下電極的提升和下降。

進(jìn)一步而言，所述執(zhí)行機(jī)構(gòu)為氣缸升降機(jī)構(gòu)，包括氣缸、提升桿和中心連桿，氣缸與提升桿相連，提升桿下方連接中心連桿，中心連桿與注電腔體的上電極和下電極的連接控制注電腔體的上電極和下電極的提升和下降。

進(jìn)一步而言，所述注電腔體包括腔門，所述氣缸控制注電腔體的腔門的提升和下降。

進(jìn)一步而言，所述上電極和下電極中均設(shè)有加熱器，所述加熱器用于上電極和下電極的預(yù)熱；所述溫控器包含多個(gè)輸出通道，所述輸出通道控制加熱器加熱。

進(jìn)一步而言，還包括傳輸機(jī)構(gòu)，所述傳輸機(jī)構(gòu)與主控制器通信連接，在主控制器的控制下將待注電硅片傳輸至注電腔體內(nèi)。

進(jìn)一步而言，還包括采集模塊，所述注電腔體的上電極和下電極處均設(shè)置相應(yīng)位置傳感器，所述采集模塊采集位置傳感器的位置信息發(fā)送給主控制器。

本實(shí)用新型的有益效果如下：本實(shí)用新型要求保護(hù)的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，在依靠溫度閉環(huán)控制的基礎(chǔ)上，通過系統(tǒng)自調(diào)整方式調(diào)節(jié)注入電流的大小，從而解決現(xiàn)有電注入工藝設(shè)備中溫度波動(dòng)較大對(duì)產(chǎn)品影響的問題。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做進(jìn)一步闡明。

圖1為本實(shí)用新型的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制的系統(tǒng)框圖；