[實用新型]一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021962395.0
• 申請日: 2020-09-10
• 公開（公告）號: CN213690349U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓明新;潘景偉;龔炳建;黎微明;李翔
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
• 主分類號: G05D23/22
• 分類號: G05D23/22
• 代理公司: 南京知識律師事務(wù)所 32207
• 代理人: 劉豐

1.一種電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于，包括主控制器、溫控器、恒流源系統(tǒng)和注電腔體，所述恒流源系統(tǒng)用于輸出電流至注電腔體為注電腔體提供注電電流，注電腔體用于對待注電硅片進(jìn)行注電并采集溫度信息發(fā)送給溫控器，溫控器用于接收來自注電腔體采集的溫度信息發(fā)送給主控制器，主控制器用于根據(jù)注電腔體采集的溫度信息控制恒流源系統(tǒng)的輸出電流。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：所述注電腔體包括上電極和下電極，所述上電極和下電極中均設(shè)有測溫傳感器，所述測溫傳感器采集溫度信息；所述溫控器包含多個輸入通道，所述輸入通道接收測溫傳感器采集的溫度信息。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括執(zhí)行機構(gòu)，所述執(zhí)行機構(gòu)與主控制器通信連接，在主控制器的控制下控制注電腔體的上電極和下電極的提升和下降。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：所述執(zhí)行機構(gòu)為氣缸升降機構(gòu)，包括氣缸、提升桿和中心連桿，氣缸與提升桿相連，提升桿下方連接中心連桿，中心連桿與注電腔體的上電極和下電極的連接控制注電腔體的上電極和下電極的提升和下降。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：所述注電腔體包括腔門，所述氣缸控制注電腔體的腔門的提升和下降。

6.根據(jù)權(quán)利要求2~5任一所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：所述上電極和下電極中均設(shè)有加熱器，所述加熱器用于上電極和下電極的預(yù)熱；所述溫控器包含多個輸出通道，所述輸出通道控制加熱器加熱。

7.根據(jù)權(quán)利要求1~5任一所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括傳輸機構(gòu)，所述傳輸機構(gòu)與主控制器通信連接，在主控制器的控制下將待注電硅片傳輸至注電腔體內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2~5任一所述的電注入過程中溫度穩(wěn)定控制系統(tǒng)，其特征在于：還包括采集模塊，所述注電腔體的上電極和下電極處均設(shè)置相應(yīng)位置傳感器，所述采集模塊采集位置傳感器的位置信息發(fā)送給主控制器。