[實用新型]異物消除工裝和加工系統

有效

• 申請號: 202021925793.5
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN213671024U
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 于上家;牛雪雷;詹新明
• 申請（專利權）人: 青島歌爾微電子研究院有限公司
• 主分類號: B08B15/04
• 分類號: B08B15/04;B08B13/00;H05F3/06;H01L21/67
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 梁馨怡

1.一種異物消除工裝，用于消除產品表面的異物，其特征在于，所述異物消除工裝包括：

基體，所述基體內設有振動器；

定位組件，所述定位組件包括底板和蓋板，所述底板設于所述基體，所述蓋板設有容納槽以及連通所述容納槽的靜電腔和抽吸孔，所述靜電腔與所述抽吸孔呈間隔設置，所述容納槽與所述底板配合形成用于放置產品的放置空間；

吹氣組件，所述吹氣組件與所述靜電腔連通，所述吹氣組件通過所述靜電腔向所述放置空間內的產品吹離子風；及

抽吸組件，所述抽吸組件與所述抽吸孔連接，所述抽吸組件通過所述抽吸孔抽取所述放置空間內產品表面的異物。

2.如權利要求1所述的異物消除工裝，其特征在于，所述定位組件還包括設于所述靜電腔內的多個靜電針，多個所述靜電針呈間隔設置。

3.如權利要求2所述的異物消除工裝，其特征在于，所述容納槽的底壁設有連通所述靜電腔的多個吹氣孔，多個所述吹氣孔呈間隔設置，每一所述靜電針與一所述吹氣孔對應設置。

4.如權利要求3所述的異物消除工裝，其特征在于，所述蓋板設有兩個所述靜電腔，兩個所述靜電腔呈間隔且行設置；

且/或，多個所述吹氣孔沿所述靜電腔的延伸方向呈線性排布。

5.如權利要求1至4中任一項所述的異物消除工裝，其特征在于，所述蓋板還設有抽吸腔以及連通所述抽吸腔的抽吸口，所述抽吸孔連通所述抽吸腔和所述容納槽，所述抽吸口設于所述蓋板的外壁，并與所述抽吸組件連接，所述靜電腔位于所述抽吸腔內。

6.如權利要求5所述的異物消除工裝，其特征在于，所述底板背向所述基體的一側設有承載面，所述底板還設有吸附腔以及連通所述吸附腔的吸附孔和連通口，所述吸附孔位于所述承載面，用于吸附固定產品，所述連通口位于所述底板的周側，并與所述抽吸組件連接。

7.如權利要求6所述的異物消除工裝，其特征在于，所述蓋板設有間隔設置的多個所述抽吸孔，多個所述抽吸孔呈陣列排布于所述容納槽的底壁，且多個所述抽吸孔均與所述抽吸腔連通；

且/或，所述底板設有間隔設置的多個所述吸附孔，多個所述吸附孔呈陣列排布于所述承載面，且多個所述吸附孔均與所述吸附腔連通。

8.如權利要求6所述的異物消除工裝，其特征在于，所述承載面凸設有多個定位柱，多個定位柱環繞所述承載面的周緣設置，所述蓋板面向所述底板的一側對應每一所述定位柱設有定位槽，所述蓋板與所述底板抵接時，每一所述定位柱容納并限位于相對應的所述定位槽內。

9.如權利要求1至4中任一項所述的異物消除工裝，其特征在于，所述抽吸組件包括抽吸泵和連接管，所述連接管的一端與所述抽吸泵連接，所述連接管的另一端與所述抽吸孔連接，所述抽吸泵通過所述連接管和所述抽吸孔抽取所述放置空間內產品表面的異物；

且/或，所述吹氣組件包括風機和吹氣管，所述吹氣管的一端與所述風機連接，另一端與所述靜電腔連通。

10.一種加工系統，其特征在于，包括加工設備和如權利要求1至9中任一項所述的異物消除工裝，所述異物消除工裝鄰近所述加工設備設置，所述加工設備用于加工產品，并將產品轉移至所述異物消除工裝。