[實用新型]一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀

有效

• 申請號: 202021921283.0
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN213209897U
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 黎君玲;張弓
• 申請（專利權）人: 張弓
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01B11/06;G01B11/24
• 代理公司: 廣州人才匯進知識產權代理事務所(普通合伙) 44763
• 代理人: 袁翔

本實用新型公開了一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，包括機箱，所述機箱的頂部固定連接有成像橢偏儀本體，所述機箱的右側固定連接有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的表面套設有螺紋套，所述螺紋套的頂部固定連接有安裝板。本實用新型通過驅動電機、螺紋桿、螺紋套、安裝板、液壓伸縮缸、轉輪、連接桿、微型電機、傳動機構和放置槽的配合，驅動電機的輸出軸通過螺紋桿帶動螺紋套左右移動，通過液壓伸縮缸帶動轉輪上下移動，調節高度，微型電機的輸出軸通過齒輪和圓形齒牙板帶動轉輪旋轉，調節被測物體的角度，從而達到測量精準度高的效果，解決了現有裝置測量精準度低的問題。

技術領域

本實用新型涉及半導體檢測技術領域，具體為一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀。

背景技術

橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數以及材料微結構的光學測量儀器，橢偏技術是測量檢測薄膜的介電性質（復折射系數或介電函數）、膜厚以及表面形貌的一種光學測量技術，成像橢偏儀可對微區薄膜進行分析，也可實現動態的橢偏測量，并和其他各種技術聯用，現有的橢偏儀不能對被測物體的位置和角度進行調節，導致測量數據的精準度有所下降。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，具備測量精準度高的優點，解決了現有裝置測量精準度低的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，包括機箱，所述機箱的頂部固定連接有成像橢偏儀本體，所述機箱的右側固定連接有驅動電機，所述驅動電機的輸出軸固定連接有螺紋桿，所述螺紋桿的表面套設有螺紋套，所述螺紋套的頂部固定連接有安裝板，所述安裝板的頂部固定連接有液壓伸縮缸，所述液壓伸縮缸的頂部通過軸承座活動連接有轉輪，所述液壓伸縮缸的右側固定連接有連接桿，所述連接桿的右側固定連接有微型電機，所述微型電機的輸出軸固定連接有傳動機構，所述轉輪的頂部設置有放置槽。

優選的，所述安裝板的底部固定連接有支撐桿，所述支撐桿的底部固定連接有滑輪，所述滑輪的底部滑動連接有滑槽。

優選的，所述傳動機構包括齒輪和圓形齒牙板，所述微型電機的輸出軸固定連接有齒輪，所述齒輪的表面嚙合有圓形齒牙板，所述圓形齒牙板的內側與轉輪的表面固定連接。

優選的，所述放置槽內腔的左右兩側均固定連接有彈簧，所述彈簧的另一端固定連接有固定板。

優選的，所述機箱的正面設置有控制箱，所述機箱的頂部設置有限位槽。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過驅動電機、螺紋桿、螺紋套、安裝板、液壓伸縮缸、轉輪、連接桿、微型電機、傳動機構和放置槽的配合，驅動電機的輸出軸通過螺紋桿帶動螺紋套左右移動，通過液壓伸縮缸帶動轉輪上下移動，調節高度，微型電機的輸出軸通過齒輪和圓形齒牙板帶動轉輪旋轉，調節被測物體的角度，從而達到測量精準度高的效果，解決了現有裝置測量精準度低的問題。

2、本實用新型通過支撐桿、滑輪和滑槽的配合，便于對安裝板進行支撐，提高安裝板移動的流暢性，通過彈簧和固定板的配合，便于對被測物體進行固定，避免被測物體在調節角度的過程中晃動。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖；

圖2為本實用新型圖1中A處局部放大圖；

圖3為本實用新型結構主視圖。

圖中：1、機箱；2、成像橢偏儀本體；3、驅動電機；4、螺紋桿；5、螺紋套；6、安裝板；7、液壓伸縮缸；8、轉輪；9、微型電機；10、傳動機構；101、齒輪；102、圓形齒牙板；11、放置槽；12、支撐桿；13、滑輪；14、滑槽；15、彈簧；16、固定板；17、控制箱；18、限位槽；19、連接桿。

具體實施方式