[實用新型]一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀

有效

• 申請號: 202021921283.0
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN213209897U
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 黎君玲;張弓
• 申請（專利權）人: 張弓
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G01B11/06;G01B11/24
• 代理公司: 廣州人才匯進知識產權代理事務所(普通合伙) 44763
• 代理人: 袁翔

1.一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，包括機箱（1），其特征在于：所述機箱（1）的頂部固定連接有成像橢偏儀本體（2），所述機箱（1）的右側固定連接有驅動電機（3），所述驅動電機（3）的輸出軸固定連接有螺紋桿（4），所述螺紋桿（4）的表面套設有螺紋套（5），所述螺紋套（5）的頂部固定連接有安裝板（6），所述安裝板（6）的頂部固定連接有液壓伸縮缸（7），所述液壓伸縮缸（7）的頂部通過軸承座活動連接有轉輪（8），所述液壓伸縮缸（7）的右側固定連接有連接桿（19），所述連接桿（19）的右側固定連接有微型電機（9），所述微型電機（9）的輸出軸固定連接有傳動機構（10），所述轉輪（8）的頂部設置有放置槽（11）。

2.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，其特征在于：所述安裝板（6）的底部固定連接有支撐桿（12），所述支撐桿（12）的底部固定連接有滑輪（13），所述滑輪（13）的底部滑動連接有滑槽（14）。

3.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，其特征在于：所述傳動機構（10）包括齒輪（101）和圓形齒牙板（102），所述微型電機（9）的輸出軸固定連接有齒輪（101），所述齒輪（101）的表面嚙合有圓形齒牙板（102），所述圓形齒牙板（102）的內側與轉輪（8）的表面固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，其特征在于：所述放置槽（11）內腔的左右兩側均固定連接有彈簧（15），所述彈簧（15）的另一端固定連接有固定板（16）。

5.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用基于磁光效應的成像橢偏儀，其特征在于：所述機箱（1）的正面設置有控制箱（17），所述機箱（1）的頂部設置有限位槽（18）。