[實用新型]一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機

有效

• 申請號: 202021920697.1
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN213122603U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 練小娜;步苗苗
• 申請（專利權）人: 步苗苗
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;H01L21/677;H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 濟南文衡創服知識產權代理事務所(普通合伙) 37323
• 代理人: 趙可

本實用新型公開了一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，包括顯影機本體，所述顯影機本體頂部的右側固定連接有箱體，所述箱體內腔的頂部與底部之間固定連接有隔板，所述箱體內腔的底部且位于隔板的兩側均固定連接有輸送平臺，所述箱體內腔頂部的兩側且位于隔板的左側均固定連接有氣缸，所述隔板的左側設置有調節板，所述氣缸輸出端的底部與調節板固定連接。本實用新型通過設置箱體、隔板、水箱、噴嘴、控制盒、第二電機、凸輪、活動板、控制桿、彈簧、推塊、密封板、水泵、進水管和軟管，解決了現有芯片生產用具有磨刷功能的顯影機沖洗效果差的問題，該具有磨刷功能的顯影機，具備沖洗效果好的優點，值得推廣。

技術領域

本實用新型涉及芯片生產技術領域，具體為一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機。

背景技術

芯片又被稱作微電路、微芯片和晶片，在電子學中是一種電路，主要包括半導體設備，也包括被動組件等小型化的方式，并時常制造在半導體晶圓表面上，在芯片制造過程中需要使用顯影機，現有的具有磨刷功能的顯影機在進行磨刷后底板上會附著大量的污垢，而其沖洗裝置清洗效果差，無法將底板上的污垢沖洗干凈，需要人工重新對底板進行沖洗，增加了工作人員的工作量，降低了顯影機的實用性，不利于人們的使用。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，具備沖洗效果好的優點，解決了現有芯片生產用具有磨刷功能的顯影機沖洗效果差的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，包括顯影機本體，所述顯影機本體頂部的右側固定連接有箱體，所述箱體內腔的頂部與底部之間固定連接有隔板，所述箱體內腔的底部且位于隔板的兩側均固定連接有輸送平臺，所述箱體內腔頂部的兩側且位于隔板的左側均固定連接有氣缸，所述隔板的左側設置有調節板，所述氣缸輸出端的底部與調節板固定連接，所述調節板的頂部固定連接有第一電機，所述第一電機輸出端的底部貫穿調節板并固定連接有第一齒輪，所述調節板底部的兩側均活動連接有旋轉桿，所述旋轉桿的底部固定連接有磨刷板，所述旋轉桿的表面套設有第二齒輪，兩個第二齒輪相對的一側均與第一齒輪嚙合，所述箱體內腔的頂部且位于隔板的右側固定連接有水箱，所述水箱底部的兩側均活動連接有噴嘴，所述水箱的底部且位于兩個噴嘴之間固定連接有控制盒，所述控制盒內腔的后側固定連接有第二電機，所述第二電機輸出端的前側固定連接有凸輪，所述凸輪的兩側均設置有活動板，兩個活動板相反的一側均固定連接有控制桿，所述控制桿的表面套設有彈簧，兩個控制桿相反的一側均貫穿控制盒并固定連接有推塊，所述水箱內腔的兩側均設置有密封板，所述密封板的頂部與底部均與水箱的內壁固定連接，所述水箱內腔的兩側均固定連接有水泵，兩個水泵相對的一側均連通有進水管，所述進水管遠離水泵的一端貫穿密封板并延伸至水箱內腔的底部，所述水泵的底部連通有軟管，所述軟管的底部貫穿水箱并與噴嘴連通。

優選的，所述調節板的兩側均固定連接有滑塊，所述箱體內腔的左側和隔板的左側均開設有與滑塊配合使用的滑槽，所述箱體兩側的底部均開設有輸料開口。

優選的，所述水箱的頂部連通有注水管，注水管的頂部貫穿至箱體的外側，所述彈簧的兩側分別與控制盒的內壁和活動板固定連接。

優選的，所述控制盒的兩側均開設有與控制桿配合使用的開口，兩個活動板相對的一側均與凸輪接觸。

優選的，所述水箱底部的兩側與噴嘴的連接處通均通過轉軸活動連接，所述箱體正表面的兩側均設置有觀察窗。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果如下：

1、本實用新型通過設置箱體、隔板、水箱、噴嘴、控制盒、第二電機、凸輪、活動板、控制桿、彈簧、推塊、密封板、水泵、進水管和軟管，解決了現有芯片生產用具有磨刷功能的顯影機沖洗效果差的問題，該具有磨刷功能的顯影機，具備沖洗效果好的優點，值得推廣。