[實用新型]一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機

有效

• 申請號: 202021920697.1
• 申請日: 2020-09-07
• 公開（公告）號: CN213122603U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 練小娜;步苗苗
• 申請（專利權）人: 步苗苗
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30;H01L21/677;H01L21/67;B08B3/02
• 代理公司: 濟南文衡創服知識產權代理事務所(普通合伙) 37323
• 代理人: 趙可

1.一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，包括顯影機本體（1），其特征在于：所述顯影機本體（1）頂部的右側固定連接有箱體（2），所述箱體（2）內腔的頂部與底部之間固定連接有隔板（3），所述箱體（2）內腔的底部且位于隔板（3）的兩側均固定連接有輸送平臺（4），所述箱體（2）內腔頂部的兩側且位于隔板（3）的左側均固定連接有氣缸（5），所述隔板（3）的左側設置有調節板（6），所述氣缸（5）輸出端的底部與調節板（6）固定連接，所述調節板（6）的頂部固定連接有第一電機（7），所述第一電機（7）輸出端的底部貫穿調節板（6）并固定連接有第一齒輪（8），所述調節板（6）底部的兩側均活動連接有旋轉桿（9），所述旋轉桿（9）的底部固定連接有磨刷板（10），所述旋轉桿（9）的表面套設有第二齒輪（11），兩個第二齒輪（11）相對的一側均與第一齒輪（8）嚙合，所述箱體（2）內腔的頂部且位于隔板（3）的右側固定連接有水箱（12），所述水箱（12）底部的兩側均活動連接有噴嘴（13），所述水箱（12）的底部且位于兩個噴嘴（13）之間固定連接有控制盒（14），所述控制盒（14）內腔的后側固定連接有第二電機（15），所述第二電機（15）輸出端的前側固定連接有凸輪（16），所述凸輪（16）的兩側均設置有活動板（17），兩個活動板（17）相反的一側均固定連接有控制桿（18），所述控制桿（18）的表面套設有彈簧（19），兩個控制桿（18）相反的一側均貫穿控制盒（14）并固定連接有推塊（20），所述水箱（12）內腔的兩側均設置有密封板（21），所述密封板（21）的頂部與底部均與水箱（12）的內壁固定連接，所述水箱（12）內腔的兩側均固定連接有水泵（22），兩個水泵（22）相對的一側均連通有進水管（23），所述進水管（23）遠離水泵（22）的一端貫穿密封板（21）并延伸至水箱（12）內腔的底部，所述水泵（22）的底部連通有軟管（24），所述軟管（24）的底部貫穿水箱（12）并與噴嘴（13）連通。

2.根據權利要求1所述的一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，其特征在于：所述調節板（6）的兩側均固定連接有滑塊，所述箱體（2）內腔的左側和隔板（3）的左側均開設有與滑塊配合使用的滑槽，所述箱體（2）兩側的底部均開設有輸料開口。

3.根據權利要求1所述的一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，其特征在于：所述水箱（12）的頂部連通有注水管，注水管的頂部貫穿至箱體（2）的外側，所述彈簧（19）的兩側分別與控制盒（14）的內壁和活動板（17）固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，其特征在于：所述控制盒（14）的兩側均開設有與控制桿（18）配合使用的開口，兩個活動板（17）相對的一側均與凸輪（16）接觸。

5.根據權利要求1所述的一種芯片生產用具有磨刷功能的顯影機，其特征在于：所述水箱（12）底部的兩側與噴嘴（13）的連接處通均通過轉軸活動連接，所述箱體（2）正表面的兩側均設置有觀察窗。