[實(shí)用新型]一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021914747.5
• 申請(qǐng)日: 2020-09-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN213090881U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓云霄;楊波;李戰(zhàn)國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 麥斯克電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): G01F19/00
• 分類號(hào): G01F19/00;H01L21/67;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 洛陽(yáng)公信知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 41120
• 代理人: 衛(wèi)煜睿

本實(shí)用新型公開(kāi)一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶，重力計(jì)量桶位于化學(xué)液供液系統(tǒng)和清洗設(shè)備之間，化學(xué)液供液系統(tǒng)通過(guò)進(jìn)液管與重力計(jì)量桶的頂部相連通，重力計(jì)量桶的底部通過(guò)注液管道與清洗設(shè)置連接，注液管道上設(shè)置有電子閥，通過(guò)清洗設(shè)備藥液信號(hào)控制電子閥的開(kāi)關(guān)，在重力計(jì)量桶的頂部中心還設(shè)置有排氣口，位于重力計(jì)量桶一側(cè)設(shè)置有連通計(jì)量桶頂部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分別設(shè)置有工作液位傳感器以及下限位傳感器，在重力計(jì)量桶的桶身外壁上還設(shè)置有刻度標(biāo)識(shí)，該裝置使化學(xué)液計(jì)量更加精準(zhǔn)，且能耗更低，穩(wěn)定性更好，為清洗工藝穩(wěn)定性提供有利條件。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅作為現(xiàn)代電子工業(yè)的基礎(chǔ)材料已有半個(gè)世紀(jì)的歷史，隨著硅材料的精密化發(fā)展，基體表面的亞微米污物足以導(dǎo)致大量缺陷產(chǎn)生并對(duì)生產(chǎn)領(lǐng)域造成一系列影響，給硅片表面質(zhì)量提出了越來(lái)越苛刻的要求。硅材料表面的顆粒、有機(jī)物、金屬、吸附分子、微粗糙度、自然氧化層等嚴(yán)重影響器件性能，清洗不佳引起的器件失效已超過(guò)集成電路制造中總損失的一半。清洗工藝使用原材料最多的就是純水和化學(xué)液，其中化學(xué)液的清洗尤為重要，優(yōu)秀的清洗工藝必須保證穩(wěn)定的化學(xué)液供應(yīng)。其中我司使用的腐蝕片清洗機(jī)中化學(xué)液計(jì)量器為蝸輪式計(jì)量器，流體沖擊蝸輪葉片，使蝸輪輪旋轉(zhuǎn)，蝸輪的旋轉(zhuǎn)速度隨流量的變化而變化，通過(guò)蝸輪外的磁電轉(zhuǎn)換裝置可將蝸輪的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換成電脈沖來(lái)完成化學(xué)液的定量配制，但是腐蝕片清洗過(guò)程中頻繁配制大量高濃度的化學(xué)液，持續(xù)使用過(guò)程中蝸輪葉片極易損壞，不僅增加生產(chǎn)成本，而且影響清洗工藝正常運(yùn)行，因此急需一種更加精準(zhǔn)，穩(wěn)定性更好的化學(xué)液流量計(jì)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型為解決上述問(wèn)題，提供了一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶，該裝置使化學(xué)液計(jì)量更加精準(zhǔn)，且能耗更低，穩(wěn)定性更好，為清洗工藝穩(wěn)定性提供有利條件。

本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：

一種用于硅片清洗機(jī)化學(xué)溶液配制的重力計(jì)量桶，重力計(jì)量桶位于化學(xué)液供液系統(tǒng)和清洗設(shè)備之間，所述化學(xué)液供液系統(tǒng)通過(guò)進(jìn)液管與重力計(jì)量桶的頂部相連通，所述重力計(jì)量桶的底部通過(guò)注液管道與清洗設(shè)備連接，所述注液管道上設(shè)置有電子閥，通過(guò)清洗設(shè)備藥液信號(hào)控制電子閥的開(kāi)關(guān)；

在重力計(jì)量桶的頂部中心還設(shè)置有排氣口，位于重力計(jì)量桶一側(cè)設(shè)置有連通重力計(jì)量桶頂部和底部的透明液位管，位于透明液位管管道的上部及底部分別設(shè)置有工作液位傳感器以及下限位傳感器，在重力計(jì)量桶的桶身外壁上還設(shè)置有刻度標(biāo)識(shí)。

進(jìn)一步的，所述重力計(jì)量桶為圓筒形，且其材質(zhì)為PTFE。

進(jìn)一步的，所述重力計(jì)量桶的放置位置位于清洗設(shè)備溶液槽水平高度上方28~35公分處。

進(jìn)一步的，所述進(jìn)液管的另一端延伸至重力計(jì)量桶的內(nèi)部，且進(jìn)液管的底部位于重力計(jì)量桶底部2~3公分處。

進(jìn)一步的，所述排氣口內(nèi)部填充有濾料。

進(jìn)一步的，位于透明液位管管道的工作液位傳感器的上方還設(shè)置有上限位傳感器。

進(jìn)一步的，所述刻度標(biāo)識(shí)與透明液位管道貼近并水平設(shè)置。

本實(shí)用新型的有益效果在于：

本實(shí)用新型通過(guò)重力計(jì)量桶配制化學(xué)液，使其具有更高安全性能，更高精準(zhǔn)度，并且不易損壞特點(diǎn)，大大降低生產(chǎn)成本及穩(wěn)定清洗工藝。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；

附圖標(biāo)記：1、進(jìn)液管，2、排氣口，3、透明液位管，4、上限位傳感器，5、工作液位傳感器，6、下限位傳感器，7、刻度標(biāo)識(shí)，8、電子閥，9、注液管道，10、重力計(jì)量桶，11、化學(xué)液供液系統(tǒng)。

具體實(shí)施方式