[實用新型]一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶

有效

• 申請號: 202021914747.5
• 申請日: 2020-09-04
• 公開（公告）號: CN213090881U
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 韓云霄;楊波;李戰國
• 申請（專利權）人: 麥斯克電子材料股份有限公司
• 主分類號: G01F19/00
• 分類號: G01F19/00;H01L21/67;B08B3/08;B08B13/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 衛煜睿

1.一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：重力計量桶（10）位于化學液供液系統（11）和清洗設備之間，所述化學液供液系統通過進液管（1）與重力計量桶的頂部相連通，所述重力計量桶（10）的底部通過注液管道（9）與清洗設備連接，所述注液管道（9）上設置有電子閥（8），通過清洗設備藥液信號控制電子閥的開關；

在重力計量桶（10）的頂部中心還設置有排氣口（2），位于重力計量桶（10）一側設置有連通重力計量桶頂部和底部的透明液位管（3），位于透明液位管（3）管道的上部及底部分別設置有工作液位傳感器（5）以及下限位傳感器（6），在重力計量桶（10）的桶身外壁上還設置有刻度標識（7）。

2.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：所述重力計量桶（10）為圓筒形，且其材質為PTFE。

3.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：所述重力計量桶（10）的放置位置位于清洗設備溶液槽水平高度上方28~35公分處。

4.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：所述進液管（1）的另一端延伸至重力計量桶（10）的內部，且進液管（1）的底部位于重力計量桶底部2~3公分處。

5.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：所述排氣口（2）內部填充有濾料。

6.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：位于透明液位管（3）管道的工作液位傳感器（5）的上方還設置有上限位傳感器（4）。

7.根據權利要求1所述的一種用于硅片清洗機化學溶液配制的重力計量桶，其特征在于：所述刻度標識（7）與透明液位管（3）貼近并水平設置。