[實(shí)用新型]一種排放裝置和半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021909579.0
• 申請(qǐng)日: 2020-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN214051546U
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 高君;邵克堅(jiān)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)江存儲(chǔ)科技有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): B01J4/00
• 分類號(hào): B01J4/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 李曉光

1.一種排放裝置，其特征在于，所述排放裝置包括：

渦輪泵和與所述渦輪泵排放口連接的排放管道；

所述排放管道中設(shè)置有排放物濃度處理裝置，用于降低所述排放物的濃度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排放裝置，其特征在于，所述排放物濃度處理裝置包括：供氣管道和氣體擴(kuò)散器；

所述氣體擴(kuò)散器的進(jìn)氣端與所述供氣管道的一端連接，所述供氣管道的另一端用于與外部惰性氣體供應(yīng)設(shè)備連接；

所述氣體擴(kuò)散器設(shè)置在所述排放管道中，用于使所述供氣管道中的惰性氣體沿著所述排放管道的內(nèi)壁均勻排向所述渦輪泵方向。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排放裝置，其特征在于，所述氣體擴(kuò)散器為圓環(huán)形擴(kuò)散器；

所述圓環(huán)形擴(kuò)散器的外徑與所述排放管道的內(nèi)徑相匹配。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排放裝置，其特征在于，所述圓環(huán)形擴(kuò)散器面向所述渦輪泵的一側(cè)形成有多個(gè)孔排放單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的排放裝置，其特征在于，所述圓環(huán)形擴(kuò)散器的外徑和內(nèi)徑之間的距離為1.5cm-2.5cm。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的排放裝置，其特征在于，所述排放裝置還包括：

設(shè)置在所述供氣管道內(nèi)的流量調(diào)節(jié)器，用于調(diào)節(jié)惰性氣體的流量；

設(shè)置在所述供氣管道內(nèi)的壓力傳感器，用于檢測(cè)惰性氣體的供氣壓力。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的排放裝置，其特征在于，所述排放裝置還包括：

設(shè)置在所述排放管道中的閥門，所述排放物濃度處理裝置位于所述渦輪泵和所述閥門之間；

與所述排放管道排放口連接的干泵。

8.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述半導(dǎo)體加工設(shè)備包括反應(yīng)室和權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的排放裝置；

所述反應(yīng)室的排放口與所述排放裝置中的渦輪泵連接。