[實用新型]可調式晶圓花籃

有效

• 申請號: 202021861035.1
• 申請日: 2020-08-31
• 公開（公告）號: CN212725260U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 張小永;周祖武;馬南;李海楠
• 申請（專利權）人: 北京市塑料研究所
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李文麗

1.一種可調式晶圓花籃，其特征在于，包括：第一齒型結構、第二齒型結構、第一連接板和第二連接板，所述第一齒型結構和所述第二齒型結構相對設置，用于放置晶圓，所述第一連接板固定于所述第一齒型結構，所述第二連接板固定于所述第二齒型結構，且所述第一連接板上設有第一定位部，所述第二連接板設有與所述第一定位部能夠匹配連接的第二定位部，使得所述第一齒型結構和所述第二齒型結構之間通過所述第一定位部和所述第二定位部間距可調連接。

2.根據權利要求1所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述第一定位部包括多個水平設置的第一螺紋孔，所述第二定位部包括與所述第一螺紋孔匹配的第二螺紋孔，以供螺栓能夠依次擰入所述第一螺紋孔和所述第二螺紋孔。

3.根據權利要求1所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述第一連接板和所述第二連接板均包括第一側板、第二側板和底板，所述第一側板和第二側板分別連接于底板的兩端并構成U型結構，所述第一連接板的底板和所述第二連接板的底板分別固定于所述第一齒型結構和所述第二齒型結構的外側面，所述第一定位部固定于所述第一連接板的第一側板和第二側板，所述第二定位部固定于所述第二連接板的第一側板和第二側板。

4.根據權利要求3所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述第一連接板的底板設有第三螺紋孔，所述第一齒型結構的外側面設有第四螺栓孔，以供螺栓能夠依次擰入所述第三螺紋孔和所述第四螺栓孔；所述第二連接板的底板設有第五螺紋孔，所述第二齒型結構的外側面設有第六螺栓孔，以供螺栓能夠依次擰入所述第五螺紋孔和所述第六螺栓孔。

5.根據權利要求1所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述第一齒型結構和所述第二齒型結構均包括多個齒槽。

6.根據權利要求5所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述齒槽為聚四氟乙烯齒槽、聚偏氟乙烯齒槽和可熔性聚四氟乙烯齒槽其中的一種。

7.根據權利要求1所述的可調式晶圓花籃，其特征在于，所述第一連接板和所述第二連接板為不銹鋼連接板或鋁合金連接板。