[實用新型]一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂

有效

• 申請號: 202021835896.2
• 申請日: 2020-08-28
• 公開（公告）號: CN213439063U
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 謝華偉
• 申請（專利權）人: 蘇州錸鉑機電科技有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/30
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 張俊范

本實用新型公開了一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的兩端分別設有夾具滾輪，所述夾具滾輪的軸線垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端設有驅動所述夾具滾輪轉動的動力源。本實用新型能驅動研磨夾具進行主動轉動，避免研磨摩擦力過小導致晶圓轉速不穩的問題。

技術領域

本實用新型涉及一種研磨裝置的夾具控制組件，特別是涉及一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂。

背景技術

在半導體晶圓的后道工藝制程中，需要對正面完成光刻蝕刻等工藝的晶圓進行背面減薄拋光，以利于晶圓工作過程中的散熱等需求。

在減薄拋光的過程中，需要把晶圓吸附在夾具下面(有的晶圓是使用蠟粘接在襯底上，然后夾具吸附住襯底)，然后把吸附住晶圓的夾具放在磨盤上，夾具的底面圓弧卡在半月形的擺臂滾輪上，擺臂的主要目的是限制夾具的位置。在研磨時，研磨液均勻滴落在磨盤上，磨盤開始轉動，帶動夾具旋轉，夾具底面的晶圓通過研磨液的摩擦作用慢慢磨薄。

傳統的半月形擺臂左右兩端配有兩個橡膠輪，兩個橡膠輪自身沒有動力，是從動輪，磨盤轉動的時候，會帶動夾具轉動，而夾具的轉動則帶動了兩個橡膠輪轉動；但是在磨盤表面比較光滑或者研磨液的顆粒比較細的時候，研磨液與晶圓的摩擦力小于夾具的轉動阻力，就會發生夾具轉速不夾均或者轉不動的情況，夾具不轉會造成了晶圓研磨不穩定，表面平整度差，無法滿足減薄拋光的質量要求。

實用新型內容

針對上述現有技術缺陷，本實用新型的任務在于提供一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，避免研磨夾具出現因與磨盤間摩擦力過小而轉速不穩定的問題。

本實用新型技術方案如下：一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的兩端分別設有夾具滾輪，所述夾具滾輪的軸線垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端設有驅動所述夾具滾輪轉動的動力源。

進一步地，所述動力源為電機，所述電機連接主動滾輪，所述主動滾輪通過線繩O形圈驅動所述夾具滾輪。

進一步地，所述夾具滾輪的外圓面設有聚氨酯摩擦接觸層。

本實用新型與現有技術相比的優點在于：夾具滾輪由完全從動變為一個主動一個從動，保證了晶圓能夠穩定地轉動，從而提高晶圓研磨拋光的平整度，并且可以通過擺臂控制加快夾具旋轉，增大晶圓與研磨液的摩擦速度，提高研磨的效率。

附圖說明

圖1為可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂立體結構示意圖。

圖2為主動輪擺臂驅動夾具的平面結構示意圖。

具體實施方式

下面結合實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為對本實用新型的限定。

為了更好地理解本實用新型，請結合圖1所示，本實施例涉及的可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂包括一個半環形的半月叉臂1，在半月叉臂1的兩端分別安裝有夾具滾輪2，夾具滾輪2可自由轉動，兩個夾具滾輪2的轉軸相互平行均垂直于半月叉臂1的叉型平面。在現有技術中，該半月叉臂1的主要作用是限制研磨夾具6的位置，研磨夾具6的下端為圓柱狀，其外側面倚靠在兩個夾具滾輪2上，由于研磨盤的摩擦力作用使研磨夾具6轉動，進而夾具滾輪2也跟隨研磨夾具6轉動。在本實施例中，在半月叉臂1的一端設置了可調速的無刷直流電機3作為動力源，無刷直流電機3的轉軸連接一個主動滾輪4，主動滾輪4的轉軸也是垂直于半月叉臂1的叉型平面。請結合圖2所示，在主動滾輪4和夾具滾輪2之間通過線繩O形圈5連接，為了增加夾具滾輪2與研磨夾具6間的摩擦，在夾具滾輪2的外圓面設有聚氨酯摩擦接觸層2a。該裝置運行時，由可調速的無刷直流電機3驅動半月叉臂1一端的夾具滾輪2轉動，由夾具滾輪2與研磨夾具6間的摩擦驅動研磨夾具6轉動，再由研磨夾具6與另一端的夾具滾輪2的摩擦驅動另一端的夾具滾輪2轉動，由于研磨夾具6由原來的研磨盤通過不穩定的摩擦力(依靠研磨液與晶圓間的摩擦)變為現在穩定的電機驅動，可保持穩定的轉速從而保證研磨效果，同時還可以根據需要提高研磨夾具轉速以提高研磨效率。