[實用新型]一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂有效
| 申請號： | 202021835896.2 | 申請日： | 2020-08-28 |
| 公開（公告）號： | CN213439063U | 公開（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發明（設計）人： | 謝華偉 | 申請（專利權）人： | 蘇州錸鉑機電科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/34 | 分類號： | B24B37/34;B24B37/30 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 張俊范 |
| 地址： | 215500 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 驅動 研磨 夾具 旋轉 主動 輪擺臂 | ||
【權利要求書】：
1.一種可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，包括半月叉臂，所述半月叉臂的兩端分別設有夾具滾輪，其特征在于，所述夾具滾輪的軸線垂直于所述半月叉臂的叉型平面，所述半月叉臂的一端設有驅動所述夾具滾輪轉動的動力源。
2.根據權利要求1所述的可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，其特征在于，所述動力源為電機，所述電機連接主動滾輪，所述主動滾輪通過線繩O形圈驅動所述夾具滾輪。
3.根據權利要求1所述的可驅動晶圓研磨夾具旋轉的主動輪擺臂，其特征在于，所述夾具滾輪的外圓面設有聚氨酯摩擦接觸層。
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