[實用新型]一種晶圓片甩干機

有效

• 申請號: 202021818376.0
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN212542372U
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發明（設計）人: 施挺挺
• 申請（專利權）人: 無錫市立科汽車部件有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓片甩干機，其特征在于：包括箱體（1），箱體（1）的外頂面上固接有豎直布設的放置管（2），放置管（2）內設置有貫穿箱體（1）頂壁的轉軸（3），轉軸（3）的下端轉動連接在箱體（1）的底壁上，轉軸（3）的上端設置有用于安裝晶圓片的安裝件（4），放置管（2）的上端面鉸接有用于蓋設在放置管（2）上端口的蓋板（6），箱體（1）的底壁上設置有驅使轉軸（3）轉動的驅動組件（5）。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述安裝件（4）包括用于盛放晶圓片的圓形底盤（41），底盤（41）的上表面嵌設有繞底盤（41）圓心圓周分布的磁鐵（42）。

3.根據權利要求2所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述底盤（41）的上表沿其邊緣固接有花形的凸條（43），凸條（43）的內周面用于與晶圓片邊緣相抵靠。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述底盤（41）周面上開設有多個豁槽（44），多個豁槽（44）繞底盤（41）的軸線圓周分布，凸條（43）在豁槽（44）位置處斷開。

5.根據權利要求4所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述轉軸（3）的上端固接有抵靠板（31），抵靠板（31）抵緊在底盤（41）的下表面，底盤（41）與底座之間穿設有多個用于連接兩者的連接螺釘（45）。

6.根據權利要求5所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述底盤（41）上表面與連接螺釘（45）對應位置上開設有容納連接螺釘（45）的凹槽（46）。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述驅動組件（5）包括同軸固接在轉軸（3）上的從動帶輪（54），與從動帶輪（54）等高設置的主動帶輪（52），主動帶輪（52）與從動帶輪（54）之間設置有實現兩者之間傳動的皮帶（55），箱體（1）的底壁上設置有驅使主動帶輪（52）轉動的電機。

8.根據權利要求7所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述箱體（1）位于放置管（2）中的頂壁上貫穿開設有多個通水孔（11），箱體（1）的內頂壁上與通水孔（11）對應位置固接有環形水槽（12），水槽（12）的外側壁上固接有穿過箱體（1）側壁的排水管（13）。

9.根據權利要求8所述的一種晶圓片甩干機，其特征在于：所述水槽（12）的底板為傾斜設置并且水槽（12）的槽底傾斜朝向排水管（13）。