[實用新型]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用離子清洗機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021812550.0
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN212461619U
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張文翰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市星曜微半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/687
• 代理公司: 重慶百潤洪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50219
• 代理人: 沈鋒

本實用新型公開了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用離子清洗機(jī)，具體涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，包括機(jī)體，所述機(jī)體的兩側(cè)外壁上設(shè)置有多組載物件，所述機(jī)體的前表面設(shè)置有顯示屏，所述機(jī)體的前表面靠近顯示屏一側(cè)設(shè)置有真空室，所述真空室的內(nèi)部設(shè)置有壓合件。本實用新型中利用自動復(fù)位的壓網(wǎng)，從而帶動壓網(wǎng)壓合在半導(dǎo)體產(chǎn)品上，能夠較為快速進(jìn)行限位固定，保證了其在清洗作業(yè)中的穩(wěn)定性，不會由于沖擊力而導(dǎo)致發(fā)生四處亂竄的現(xiàn)象，從而使得離子清洗的更加干凈，并且能夠?qū)Σ煌?guī)格型號的產(chǎn)品進(jìn)行限位，使用范圍較為廣闊，具備較高的實用性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，本實用新型涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用離子清洗機(jī)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體是一種電導(dǎo)率在絕緣體至導(dǎo)體之間的物質(zhì)，其電導(dǎo)率容易受控制，可作為信息處理的元件材料。從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來看，半導(dǎo)體非常重要。很多電子產(chǎn)品，如計算機(jī)、移動電話、數(shù)字錄音機(jī)的核心單元都是利用半導(dǎo)體的電導(dǎo)率變化來處理信息。常見的半導(dǎo)體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導(dǎo)體材料中，在商業(yè)應(yīng)用上最具有影響力的一種，半導(dǎo)體在生產(chǎn)的過程中，需要使用到離子清洗機(jī)。

但是其在實際使用時，仍舊存在較多缺點，半導(dǎo)體產(chǎn)品種類較多，在清洗的時候由于沖擊力較大，容易導(dǎo)致四處亂竄的現(xiàn)象，不容易對其進(jìn)行清洗。

實用新型內(nèi)容

為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實用新型的實施例提供一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用離子清洗機(jī)，通過利用自動復(fù)位的壓網(wǎng)，從而帶動壓網(wǎng)壓合在半導(dǎo)體產(chǎn)品上，能夠較為快速進(jìn)行限位固定，保證了其在清洗作業(yè)中的穩(wěn)定性，不會由于沖擊力而導(dǎo)致發(fā)生四處亂竄的現(xiàn)象，并且能夠?qū)Σ煌?guī)格型號的產(chǎn)品進(jìn)行限位，使用范圍較為廣闊，具備較高的實用性。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用離子清洗機(jī)，包括機(jī)體、載物件、支撐板、限位塊、固定塊、支撐架、顯示屏、真空室、壓合件、底板、固定桿、彈簧、活動環(huán)、側(cè)板、導(dǎo)軌、壓網(wǎng)、滑動塊，所述機(jī)體的兩側(cè)外壁上設(shè)置有多組載物件，所述機(jī)體的前表面設(shè)置有顯示屏，所述機(jī)體的前表面靠近顯示屏一側(cè)設(shè)置有真空室，所述真空室的內(nèi)部設(shè)置有壓合件，所述真空室的內(nèi)部設(shè)置有離子噴頭；

所述壓合件包括有置于機(jī)體內(nèi)部的底板，所述底板上表面的兩端沿豎直方向上設(shè)置有固定桿，所述固定桿外部套有彈簧，所述彈簧頂端固定安裝有活動環(huán)，所述活動環(huán)的側(cè)表面設(shè)置有側(cè)板，所述側(cè)板的側(cè)表面沿水平方向上安裝有導(dǎo)軌，兩組所述側(cè)板之間安裝有壓網(wǎng)，所述壓網(wǎng)的端部安裝有滑動塊。

進(jìn)一步，所述彈簧的一端與底板表面相連接，所述彈簧的另一端與活動環(huán)相連接，所述活動環(huán)與固定桿之間通過滑動方式相連接。

進(jìn)一步，所述側(cè)板上的導(dǎo)軌與壓網(wǎng)兩端的滑動塊之間通過滑動方式相連接。

進(jìn)一步，所述底板和壓網(wǎng)均為不銹鋼金屬網(wǎng)結(jié)構(gòu)設(shè)計，所述底板固定于機(jī)體上。

進(jìn)一步，所述載物件包括有與機(jī)體側(cè)表面相鉸接的支撐板，所述機(jī)體的側(cè)表面靠近支撐板上方位置處設(shè)置有限位塊，所述機(jī)體的側(cè)表面靠近支撐板下方位置處固定安裝有固定塊，所述固定塊上安裝有支撐架。

進(jìn)一步，所述支撐架貫穿于固定塊，兩者成對設(shè)置有多組，所述支撐架呈L形結(jié)構(gòu)設(shè)計。

進(jìn)一步，所述機(jī)體的下表面設(shè)置有多組行走輪，所述機(jī)體上鉸接設(shè)置有側(cè)門，所述側(cè)門上嵌入設(shè)置有可視窗。

本實用新型的技術(shù)效果和優(yōu)點：

1、本實用新型中利用自動復(fù)位的壓網(wǎng)，從而帶動壓網(wǎng)壓合在半導(dǎo)體產(chǎn)品上，能夠較為快速進(jìn)行限位固定，保證了其在清洗作業(yè)中的穩(wěn)定性，不會由于沖擊力而導(dǎo)致發(fā)生四處亂竄的現(xiàn)象，從而使得離子清洗的更加干凈，并且能夠?qū)Σ煌?guī)格型號的產(chǎn)品進(jìn)行限位，使用范圍較為廣闊，具備較高的實用性；