[實用新型]一種拋光結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021808324.5
• 申請日: 2020-08-26
• 公開（公告）號: CN212762876U
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發(fā)明（設計）人: 趙晟佑
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號: B24B41/04
• 分類號: B24B41/04
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 胡影;李紅標

1.一種拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

驅(qū)動軸；

連接盤，所述連接盤的上側(cè)與所述驅(qū)動軸的下端相連；

定盤，所述定盤的上側(cè)與所述連接盤的下側(cè)相連；

拋光盤，所述拋光盤設在所述定盤的下側(cè)，所述定盤的下側(cè)與所述驅(qū)動軸對應的區(qū)域形成有圓形凹面，所述拋光盤上遠離所述定盤的一側(cè)設有容納腔以容納拋光墊。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動軸的軸線與所述連接盤的軸線、所述定盤的軸線、所述拋光盤的軸線共線。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓形凹面的軸線與所述定盤的軸線共線。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述圓形凹面的深度小于或等于7.0um。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

壓力傳感器，所述壓力傳感器設置于所述定盤上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓力傳感器具有多個，多個所述壓力傳感器間隔開設置于所述定盤上。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定盤的上側(cè)設有多個環(huán)狀區(qū)域，多個所述環(huán)狀區(qū)域的中心重合，每個所述環(huán)狀區(qū)域內(nèi)分別設有多個沿所述定盤的周向間隔開設置的所述壓力傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述定盤為金屬件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

驅(qū)動結(jié)構(gòu)，所述驅(qū)動結(jié)構(gòu)與所述驅(qū)動軸的上端相連以驅(qū)動所述驅(qū)動軸旋轉(zhuǎn)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光結(jié)構(gòu)，其特征在于，還包括：

拋光墊，所述拋光墊設置于所述容納腔中。