[實用新型]掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置

有效

• 申請號: 202021755490.3
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN213260644U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 楊鋼;戴曉鵬;赫松齡;張偉;賀羽
• 申請（專利權）人: 無錫量子感知研究所
• 主分類號: B29C39/02
• 分類號: B29C39/02;B29C39/42;B29C39/22
• 代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258
• 代理人: 王美華

本實用新型涉及一種掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，包括真空腔體、蓋板以及用于連接真空泵的三通，蓋板與真空腔體上端面法蘭密封固連，三通固定于蓋板上，所述的真空腔體內設有限位套筒，填充好環氧樹脂的電鏡高壓部置于限位套筒內。本實用新型能夠進行掃描電鏡高壓部的環氧樹脂快速灌裝，且性能穩定、裝卸方便、壽命可靠；與傳統真空灌裝設備相比，本裝置結構簡單可靠，方便裝卸，可在多場合下進行使用，灌裝效率高，灌裝質量好。

技術領域

本實用新型涉及一種掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置。

背景技術

隨著科技水平的不斷發展，掃描電鏡在各科研、企業單位被廣泛應用。掃描電子顯微鏡是利用陰極與陽極之間的高壓產生聚焦電子束，在試樣表面逐點掃描成像，其高壓放電現象對掃描電鏡的成像質量有很大的影響，因此電鏡高壓部常用環氧樹脂灌裝方式進行絕緣處理。

目前電鏡高壓部樹脂灌裝方式主要有普通灌裝和真空灌裝，普通灌裝很難清除環氧樹脂里面的殘余氣泡，不能完全杜絕高壓放電現象，效果較差；而現有的真空灌裝裝置，不但很難抽取到所需的真空度，且整個真空抽氣系統設置較為復雜。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是：為了克服現有技術中之不足，本實用新型提供一種結構簡單、可滿足真空度要求的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：一種掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，包括真空腔體、蓋板以及用于連接真空泵的三通，蓋板與真空腔體上端面法蘭密封固連，三通固定于蓋板上，所述的真空腔體內設有限位套筒，填充好環氧樹脂的電鏡高壓部置于限位套筒內。

具體說，所述的真空腔體內底壁設有支撐底座，限位套筒安裝在支撐底座上，限位套筒周壁均布有四個用于固定電鏡高壓部的螺孔。

為方便觀察真空腔體內的樹脂灌裝脫氣過程，所述的蓋板上設有視窗口，所述視窗口包括壓蓋法蘭、視窗片以及雙密封圈，視窗片夾在雙密封圈中間，壓蓋法蘭與蓋板固連壓緊雙密封圈。

進一步地，為方便拆裝，所述的蓋板上安裝有方便裝卸的拉手。

為確保真空腔體內部密封性，所述的蓋板與真空腔體的法蘭之間設有O型密封圈。

為方便在灌裝結束及時排出真空腔體內部氣體，所述的三通上連接有放氣閥及法蘭快接頭。

本實用新型的有益效果是：本實用新型能夠進行掃描電鏡高壓部的環氧樹脂快速灌裝，且性能穩定、裝卸方便、壽命可靠；與傳統真空灌裝設備相比，本裝置結構簡單可靠，方便裝卸，可在多場合下進行使用，灌裝效率高，灌裝質量好。

附圖說明

下面結合附圖和實施方式對本實用新型進一步說明。

圖1是本實用新型的結構示意圖。

圖中：1.真空腔體，2.蓋板，3.三通，4.限位套筒，5.支撐底座，6.壓蓋法蘭，7.視窗片，8.雙密封圈，9.拉手，10.O形密封圈，11.放氣閥12.法蘭快接頭。

具體實施方式

現在結合附圖對本實用新型作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本實用新型的基本結構，因此其僅顯示與本實用新型有關的構成。

如圖1所示的一種掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，包括真空腔體1、蓋板2以及用于連接真空泵的三通3，蓋板2與真空腔體1上端面法蘭之間通過O型密封圈10密封固連而形成灌裝時的真空密封環境；所述的蓋板2上安裝有方便裝卸的拉手9，三通3下端密封固定于蓋板2上，所述的三通3側端連接有放氣閥11及法蘭快接頭12，在三通3上端預留有真空泵接口。