[實用新型]掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置有效
| 申請號： | 202021755490.3 | 申請日： | 2020-08-20 |
| 公開（公告）號： | CN213260644U | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 楊鋼;戴曉鵬;赫松齡;張偉;賀羽 | 申請（專利權）人： | 無錫量子感知研究所 |
| 主分類號： | B29C39/02 | 分類號： | B29C39/02;B29C39/42;B29C39/22 |
| 代理公司： | 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙) 32258 | 代理人： | 王美華 |
| 地址： | 214000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 電子顯微鏡 高壓 樹脂 真空 灌裝 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，包括真空腔體(1)、蓋板(2)以及用于連接真空泵的三通(3)，蓋板(2)與真空腔體(1)上端面法蘭密封固連，三通(3)固定于蓋板(2)上，其特征是：所述的真空腔體(1)內設有限位套筒(4)，填充好環氧樹脂的電鏡高壓部置于限位套筒(4)內。
2.如權利要求1所述的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，其特征是：所述的真空腔體(1)內底壁設有支撐底座(5)，限位套筒(4)安裝在支撐底座(5)上，限位套筒(4)周壁均布有四個用于固定電鏡高壓部的螺孔。
3.如權利要求1所述的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，其特征是：所述的蓋板(2)上設有視窗口，所述視窗口包括壓蓋法蘭(6)、視窗片(7)以及雙密封圈(8)，視窗片(7)夾在雙密封圈(8)中間，壓蓋法蘭(6)與蓋板(2)固連壓緊雙密封圈(8)。
4.如權利要求3所述的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，其特征是：所述的蓋板(2)上安裝有方便裝卸的拉手(9)。
5.如權利要求1所述的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，其特征是：所述的蓋板(2)與真空腔體(1)的法蘭之間設有O型密封圈(10)。
6.如權利要求1所述的掃描電子顯微鏡高壓部樹脂真空灌裝裝置，其特征是：所述的三通(3)上連接有放氣閥(11)及法蘭快接頭(12)。
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