[實用新型]具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021746212.1
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN213105068U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 成清蘭
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州深河激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本實用新型屬于激光加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，包括固定產(chǎn)品的工作臺、位于工作臺后方的掃描頭移動組件和位于掃描頭移動組件上方的激光發(fā)生組件，所述激光發(fā)生組件內(nèi)設(shè)有光程補償單元，所述光程補償單元包括由伺服電機驅(qū)動的絲桿、在絲桿的帶動下平移的滑塊以及固定在滑塊上兩個光程補償反射鏡，兩個光程補償反射鏡能夠讓入射光反向平行出射，所述絲桿的軸線平行于所述入射光線，所述伺服電機帶動滑塊的行程始終為掃描頭行程的1/2。本設(shè)備能夠利用伺服電機自動補償光程的變化，保證激光打在產(chǎn)品表面的光斑大小穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及激光加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著工業(yè)設(shè)備朝著高精度、高穩(wěn)定性、高速度的方向發(fā)展，對精密激光加工設(shè)備的性能提出了越來越高的要求，提高設(shè)備的精度關(guān)鍵在于對激光聚焦光斑質(zhì)量的控制，所以需要對影響光斑質(zhì)量的參數(shù)和條件做到精益求精；提高設(shè)備的速度的關(guān)鍵在于降低設(shè)備負載，通過對激光掃描頭一個自由度(如：X軸方向)的移動可以有效降低設(shè)備運行負載，但是會導(dǎo)致光程會隨著激光掃描頭在X軸方向的移動而一直變化。

常規(guī)做法是通過擴束鏡調(diào)節(jié)光束發(fā)散角，將發(fā)散角調(diào)小接近平行光，但是難免還會存在一定角度，由于飛行光路中光程一直在變化，導(dǎo)致最終輸出的聚焦光斑大小一直存在變化，作用在正在加工的產(chǎn)品上就是激光路徑線寬會存在變化，影響產(chǎn)品的加工質(zhì)量。

因此，有必要改進設(shè)備結(jié)構(gòu)來解決上述問題。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的主要目的在于提供一種具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，能夠自動補償光程，保證激光打在產(chǎn)品表面的光斑大小穩(wěn)定。

本實用新型通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)上述目的：一種具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，包括固定產(chǎn)品的工作臺、位于工作臺后方的掃描頭移動組件和位于掃描頭移動組件上方的激光發(fā)生組件，所述掃描頭移動組件包括跨立于工作臺上方的龍門架、能在龍門架上沿著X軸移動的掃描頭和固定于掃描頭上并用來將水平光反射進入掃描頭內(nèi)的活動反射鏡，所述激光發(fā)生組件包括水平出射的激光頭以及將激光反射到活動反射鏡上的若干固定反射鏡，所述激光發(fā)生組件內(nèi)設(shè)有光程補償單元，所述光程補償單元包括由伺服電機驅(qū)動的絲桿、在絲桿的帶動下平移的滑塊以及固定在滑塊上兩個光程補償反射鏡，兩個光程補償反射鏡能夠讓入射光反向平行出射，所述絲桿的軸線平行于所述入射光，所述伺服電機帶動滑塊的行程始終為掃描頭行程的1/2。

具體的，所述激光頭的出射光路上設(shè)有光閘和擴束鏡。

具體的，所述激光頭的出射方向和絲桿的軸線均沿著X方向。

進一步的，所述龍門架的頂端設(shè)有一對平行于X軸設(shè)置的滑軌，所述滑塊在滑軌上移動。

進一步的，所述固定反射鏡包括將激光頭的出射光反射到Y(jié)向的第一反射鏡、將第一反射光反射給的第一個光程補償反射鏡的第二反射鏡、將第二光程補償反射鏡的反射光反射到Y(jié)向的第三反射鏡以及將光線反射到活動反射鏡上的第四反射鏡。

具體的，所述伺服電機的主軸與所述絲桿通過聯(lián)軸器連接。

采用上述技術(shù)方案，本實用新型技術(shù)方案的有益效果是：

本設(shè)備能夠利用伺服電機自動補償光程的變化，保證激光打在產(chǎn)品表面的光斑大小穩(wěn)定。

附圖說明

圖1為實施例具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備的立體圖；

圖2為圖1中A位置的局部放大圖。

圖中數(shù)字表示：

1-工作臺；

2-掃描頭移動組件，21-龍門架，211-滑軌，22-掃描頭，23-活動反射鏡；