[實用新型]具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021746212.1
• 申請日: 2020-08-20
• 公開（公告）號: CN213105068U
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 成清蘭
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州深河激光科技有限公司
• 主分類號: B23K26/064
• 分類號: B23K26/064;B23K26/08;B23K26/70
• 代理公司: 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，包括固定產(chǎn)品的工作臺、位于工作臺后方的掃描頭移動組件和位于掃描頭移動組件上方的激光發(fā)生組件，所述掃描頭移動組件包括跨立于工作臺上方的龍門架、能在龍門架上沿著X軸移動的掃描頭和固定于掃描頭上并用來將水平光反射進入掃描頭內(nèi)的活動反射鏡，所述激光發(fā)生組件包括水平出射的激光頭以及將激光反射到活動反射鏡上的若干固定反射鏡，其特征在于：所述激光發(fā)生組件內(nèi)設(shè)有光程補償單元，所述光程補償單元包括由伺服電機驅(qū)動的絲桿、在絲桿的帶動下平移的滑塊以及固定在滑塊上兩個光程補償反射鏡，兩個光程補償反射鏡能夠讓入射光反向平行出射，所述絲桿的軸線平行于所述入射光，所述伺服電機帶動滑塊的行程始終為掃描頭行程的1/2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，其特征在于：所述激光頭的出射光路上設(shè)有光閘和擴束鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，其特征在于：所述激光頭的出射方向和絲桿的軸線均沿著X方向。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，其特征在于：所述龍門架的頂端設(shè)有一對平行于X軸設(shè)置的滑軌，所述滑塊在滑軌上移動。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，其特征在于：所述固定反射鏡包括將激光頭的出射光反射到Y(jié)向的第一反射鏡、將第一反射光反射給的第一個光程補償反射鏡的第二反射鏡、將第二光程補償反射鏡的反射光反射到Y(jié)向的第三反射鏡以及將光線反射到活動反射鏡上的第四反射鏡。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有光程自動補償功能的紫外高速微加工設(shè)備，其特征在于：所述伺服電機的主軸與所述絲桿通過聯(lián)軸器連接。