[實用新型]一種真空貼合機構有效
| 申請號： | 202021716693.1 | 申請日： | 2020-08-17 |
| 公開（公告）號： | CN212694204U | 公開（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發明（設計）人： | 王俊;史曉波;馮敏強;廖良生 | 申請（專利權）人： | 江蘇集萃有機光電技術研究所有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 真空 貼合 機構 | ||
1.一種真空貼合機構，其特征在于，包括：外部框架；
所述外部框架形成容納腔；所述容納腔內設置有頂部懸掛臺、貼合載臺、氣壓套筒和壓力過渡倉；
所述頂部懸掛臺固定于所述外部框架上，用于固定第一待貼附件；所述貼合載臺與所述頂部懸掛臺相對設置，用于承載第二待貼附件；
所述氣壓套筒包括氣缸和氣壓頂桿；所述壓力過渡倉通過第一通道與所述氣缸連通，用于對所述氣缸內的氣壓進行調整；所述氣壓頂桿用于在所述氣缸內的氣壓和所述容納腔內的氣壓的壓力差的控制下移動；所述氣壓頂桿與所述貼合載臺固定連接，用于推動所述貼合載臺移動以貼合所述第一待貼附件和所述第二待貼附件。
2.根據權利要求1所述的真空貼合機構，其特征在于，所述頂部懸掛臺設置于所述貼合載臺的上方；所述頂部懸掛臺和所述貼合載臺所在平面平行于水平面；
所述氣壓頂桿用于控制所述貼合載臺沿豎直方向上往復運動。
3.根據權利要求1所述的真空貼合機構，其特征在于，所述壓力過渡倉的體積與所述氣壓套筒的氣缸的體積的比值大于或等于10。
4.根據權利要求1所述的真空貼合機構，其特征在于，所述外部框架設置有抽氣閥，用于對所述容納腔進行抽真空操作；
所述壓力過渡倉設置有穿過所述外部框架的充氣閥，用于對所述壓力過渡倉充入高壓氣體；
所述第一通道上設置有第二閥門，用于實現所述壓力過渡倉和所述氣缸之間的連通。
5.根據權利要求4所述的真空貼合機構，其特征在于，
所述壓力過渡倉設置有第一閥門，用于實現所述壓力過渡倉與所述容納腔之間的連通。
6.根據權利要求5所述的真空貼合機構，其特征在于，還包括：控制器；
所述控制器用于開啟所述抽氣閥、所述第一閥門和所述第二閥門，關閉所述充氣閥，使得所述容納腔、所述壓力過渡倉以及所述氣缸均達到真空貼合的預設真空值；
所述控制器還用于在所述容納腔、所述壓力過渡倉以及所述氣缸達到所述預設真空值后，關閉所述第一閥門和所述抽氣閥，開啟所述第二閥門和所述充氣閥，以對所述氣缸內的氣壓進行調整，使得所述貼合載臺移動到第一預設位置；
所述控制器還用于在所述貼合載臺移動到所述第一預設位置后，關閉所述第一閥門和所述第二閥門，并打開所述充氣閥，使得所述壓力過渡倉的氣壓達到設定壓力值；
所述控制器還用于在所述壓力過渡倉的氣壓達到設置壓力值后，關閉所述第一閥門，打開所述第二閥門，使得所述氣缸內的氣壓達到所述設定壓力值，以貼合所述第一待貼附件和所述第二待貼附件。
7.根據權利要求4所述的真空貼合機構，其特征在于，還包括：質量流量控制器和真空計；
所述質量流量控制器用于控制所述充氣閥充入的高壓氣體的氣體量，以對所述氣缸和所述壓力過渡倉內氣壓進行控制；所述真空計用于檢測所述氣缸和所述壓力過渡倉的氣壓。
8.根據權利要求4所述的真空貼合機構，其特征在于，所述高壓氣體為惰性氣體。
9.根據權利要求5所述的真空貼合機構，其特征在于，所述抽氣閥、所述第一閥門、所述第二閥門和所述充氣閥均通過密封螺絲密封。
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