[實用新型]一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202021697529.0 | 申請日： | 2020-08-14 |
| 公開（公告）號： | CN213001553U | 公開（公告）日： | 2021-04-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李澤豪;李慶芬 | 申請（專利權）人： | 江蘇攜爾泰智能設備科技有限公司 |
| 主分類號： | B08B5/02 | 分類號： | B08B5/02;B08B13/00;B01D46/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京盛凡智榮知識產(chǎn)權代理有限公司 11616 | 代理人： | 李洪波 |
| 地址： | 225100 江蘇省揚州市邗*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 具有 rfid 標志 處理 裝置 | ||
1.一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置，其特征在于，包括除塵筒(1)和風筒(15)；
所述風筒(15)頂端中部通過螺栓固定安裝有電機(5)，所述電機(5)中部垂直轉(zhuǎn)動設置有轉(zhuǎn)軸(12)，所述轉(zhuǎn)軸(12)外壁上鍵槽連接有扇葉(8)，所述風筒(15)外壁頂部貫穿開設有通氣孔(10)，所述風筒(15)外壁頂部套接有過濾網(wǎng)(9)，所述風筒(15)內(nèi)腔底端中部垂直貫穿焊接有吹氣管(14)，所述吹氣管(14)位于風筒(15)內(nèi)腔部分的外壁中部貫穿開設有出氣孔(16)，所述風筒(15)內(nèi)腔底部滑動設置有活塞(7)，所述吹氣管(14)垂直滑動貫穿活塞(7)中部，所述風筒(15)內(nèi)腔底部于活塞(7)底部之間設置有彈簧(6)，所述風筒(15)外壁上螺紋連接有除塵筒(1)。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置，其特征在于：所述過濾網(wǎng)(9)內(nèi)壁頂部和底部均固定粘接有磁鐵條(11)，兩組所述磁鐵條(11)均磁性吸附于風筒(15)外壁上。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置，其特征在于：所述活塞(7)內(nèi)壁與外壁上均固定套接有密封圈(13)。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(12)垂直轉(zhuǎn)動貫穿風筒(15)頂端中部，所述扇葉(8)位于風筒(15)內(nèi)腔。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種具有RFID標志載盤的晶圓處理裝置，其特征在于：所述風筒(15)頂部垂直固定焊接有支撐桿(2)，所述支撐桿(2)頂部固定焊接有安裝板(4)，所述安裝板(4)左右兩側貫穿連接有固定螺栓(3)。
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