[實用新型]ICP-MS在線取樣系統

有效

• 申請號: 202021650703.6
• 申請日: 2020-08-11
• 公開（公告）號: CN212392210U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 周連會;郭杰;周志剛;孫江華;張利臣;陳學強
• 申請（專利權）人: 唐山三孚硅業股份有限公司
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;H01J49/00;G01N27/62
• 代理公司: 唐山永和專利商標事務所 13103
• 代理人: 張立娜

本實用新型公開了一種ICP?MS在線取樣系統，包括潔凈柜、進樣管路和出樣管路，進樣管路上安裝有進樣閥門A和進樣閥門B，出樣管路上安裝有出樣閥門A和出樣閥門B，進樣管路的出口和出樣管路的入口之間的管道上連接取樣支路，取樣支路上安裝取樣閥門，出樣管路的管道上設有支路連接至低壓罐，連接至低壓罐的支路上安裝有去低壓罐閥門，位于潔凈柜內的閥門和管道的材質為PFA或PTFE，進樣管路入口與待分析樣品容器連接，出樣管路出口與廢料回收裝置連接。本實用新型取樣系統能有效避免金屬離子污染，并且結構簡單，取樣方法易操作，適合推廣應用。

技術領域

本實用新型涉及化工分析技術領域，特別是一種ICP-MS在線取樣系統。

背景技術

隨著我國工業生產的發展，化工產品品種越來越多，而各生產企業、用戶對化工產品的品質的要求越來越高，在高品質要求中，部分高品質產品對于金屬雜質的含量要求非常之高，例如芯片、半導體行業用各種特氣、刻蝕液等，其對金屬離子不純物的要求達到PPT級別，甚至更高。

伴隨著上述行業對原、輔材料的要求，就對分析技術提出了更高的要求。目前行業上對金屬離子不純物(痕量)的分析，全部采用ICP-MS設備，ICP-MS設備的穩定性毋庸置疑，但取、制樣過程對產品(原材料)品質的影響不容小覷，因取樣過程污染而導致對產品(原材料)的誤判常有發生，這種誤判輕則導致單批次產品(原材料)的不合格，進而造成經濟損失，嚴重時導致一個企業從行業中消失的可怕局面。故減少、避免、杜絕取樣過程中對產品(原材料)的污染就顯得尤為重要。

傳統取樣過程：

1、容器外放型

從待檢產品(原材料)容器中放出一定量產品(原材料)，然后進行制樣、上機測試等。為保證安全，被測產品(原材料)通常盛裝在鋼制容器中，且進、出閥門材質為金屬產品，當被測物品從鋼瓶的金屬閥門流出時，不可避免的造成金屬離子的污染。此種污染通常比較大，足以將合格產品(原材料)判定為不合格產品(原材料)。

2、管線取樣型

通過管路從待檢產品(原材料)容器中取出一定量產品(原材料)，后進行制樣、上機測試等。但管路材質基本都是金屬材質，同樣，在取樣過程中，由于產品(原材料)流出金屬材質的管路處暴露在空氣中，且絕大多數待測物料均會直接或間接腐蝕金屬，此時就會出現金屬離子污染，最終導致分析的重大偏差。

以末端金屬材質的管道為奧氏體不銹鋼為例，Fe、Cr、Ni等在潮濕的環境中會與空氣中的氧反應，生成含Fe、Cr、Ni的氧化物，而取樣的樣本會加入硝酸等對樣本進行處理，處理過程中含Fe、Cr、Ni的氧化物會與硝酸反應生成Fe³⁺、Cr²⁺、Ni²⁺，因此對待分析樣本產生污染。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提出一種ICP-MS在線取樣系統，以解決目前ICP-MS設備進行化學產品取樣分析時，取樣過程容易造成金屬離子污染的問題。

為達到以上目的，本實用新型的取樣系統通過以下技術方案實現：

一種ICP-MS在線取樣系統，包括潔凈柜、進樣管路和出樣管路，進樣管路的出口和出樣管路的入口通過管道相連，進樣管路上安裝有進樣閥門A和進樣閥門B，出樣管路上安裝有出樣閥門A和出樣閥門B，進樣管路的出口和出樣管路的入口之間的管道上連接取樣支路，取樣支路上安裝取樣閥門，出樣管路的管道上設有支路連接至低壓罐，連接至低壓罐的支路上安裝有去低壓罐閥門，進樣閥門A、出樣閥門B和低壓罐設置于潔凈柜外，進樣閥門B、出樣閥門A、取樣支路和去低壓罐閥門設置于潔凈柜內，位于潔凈柜內的閥門和管道的材質為PFA或PTFE，進樣管路入口與待分析樣品容器連接，出樣管路出口與廢料回收裝置連接。