[實(shí)用新型]ICP-MS在線取樣系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021650703.6
• 申請日: 2020-08-11
• 公開（公告）號: CN212392210U
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周連會;郭杰;周志剛;孫江華;張利臣;陳學(xué)強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 唐山三孚硅業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01J49/04
• 分類號: H01J49/04;H01J49/00;G01N27/62
• 代理公司: 唐山永和專利商標(biāo)事務(wù)所 13103
• 代理人: 張立娜

1.一種ICP-MS在線取樣系統(tǒng)，包括潔凈柜、進(jìn)樣管路和出樣管路，其特征在于，進(jìn)樣管路的出口和出樣管路的入口通過管道相連，進(jìn)樣管路上安裝有進(jìn)樣閥門A和進(jìn)樣閥門B，出樣管路上安裝有出樣閥門A和出樣閥門B，進(jìn)樣管路的出口和出樣管路的入口之間的管道上連接取樣支路，取樣支路上安裝取樣閥門，出樣管路的管道上設(shè)有支路連接至低壓罐，連接至低壓罐的支路上安裝有去低壓罐閥門，進(jìn)樣閥門A、出樣閥門B和低壓罐設(shè)置于潔凈柜外，進(jìn)樣閥門B、出樣閥門A、取樣支路和去低壓罐閥門設(shè)置于潔凈柜內(nèi)，位于潔凈柜內(nèi)的閥門和管道的材質(zhì)為PFA或PTFE，進(jìn)樣管路入口與待分析樣品容器連接，出樣管路出口與廢料回收裝置連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ICP-MS在線取樣系統(tǒng)，其特征在于，低壓罐內(nèi)壓力數(shù)值為10～50KPa。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ICP-MS在線取樣系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)樣管路上還安裝有進(jìn)樣閥門C，進(jìn)樣閥門C設(shè)置于潔凈柜內(nèi)，進(jìn)樣閥門C材質(zhì)為PFA或PTFE。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ICP-MS在線取樣系統(tǒng)，其特征在于，出樣管路上還設(shè)置有出樣閥門C，出樣閥門C設(shè)置于潔凈柜內(nèi)，出樣閥門C材質(zhì)為PFA或PTFE。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ICP-MS在線取樣系統(tǒng)，其特征在于，位于潔凈柜外的閥門和管道的材質(zhì)為EP級別不銹鋼。