[實用新型]一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021646548.0
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN213274317U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張富軍
• 申請（專利權(quán)）人: 上海垚智電子科技有限公司
• 主分類號: G01D11/30
• 分類號: G01D11/30;G02B21/24
• 代理公司: 上海驍象知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31315
• 代理人: 趙俊寅

本實用新型公開了一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡，包括箱體，箱體右側(cè)的中端固定安裝有伺服電機(jī)，伺服電機(jī)的輸出端貫穿箱體右側(cè)中端的內(nèi)表面固定連接有螺紋桿，且螺紋桿的左側(cè)活動連接于箱體內(nèi)腔左側(cè)的中端，箱體上下兩端的內(nèi)表面均開設(shè)有滑槽，滑槽內(nèi)腔的右端均滑動連接有滑塊，滑塊的內(nèi)側(cè)固定連接有活動板，活動板上下兩端的內(nèi)表面均開設(shè)有滑孔，活動板中端的內(nèi)表面開設(shè)有螺紋槽，螺紋桿右端的外表面螺紋連接于螺紋槽的內(nèi)腔。本實用新型設(shè)置了滑槽、螺紋桿、滑塊和滑桿，達(dá)到了穩(wěn)定的目的，解決了現(xiàn)有的相干探測顯微鏡不具備穩(wěn)定性好的功能，導(dǎo)致滿足不了人們使用需求的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及半導(dǎo)體檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠，并有高的成品率，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況，對所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求，其中涉及到相干探測顯微鏡，而現(xiàn)有的相干探測顯微鏡不具備穩(wěn)定性好的功能，導(dǎo)致滿足不了人們的使用需求，為此，我們提出一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體檢測用穩(wěn)定性好的相干探測顯微鏡，包括箱體，所述箱體右側(cè)的中端固定安裝有伺服電機(jī)，所述伺服電機(jī)的輸出端貫穿箱體右側(cè)中端的內(nèi)表面固定連接有螺紋桿，且螺紋桿的左側(cè)活動連接于箱體內(nèi)腔左側(cè)的中端，所述箱體上下兩端的內(nèi)表面均開設(shè)有滑槽，所述滑槽內(nèi)腔的右端均滑動連接有滑塊，所述滑塊的內(nèi)側(cè)固定連接有活動板，所述活動板上下兩端的內(nèi)表面均開設(shè)有滑孔，所述活動板中端的內(nèi)表面開設(shè)有螺紋槽，所述螺紋桿右端的外表面螺紋連接于螺紋槽的內(nèi)腔，所述箱體內(nèi)腔的上下兩端均固定連接有滑桿，所述滑桿右端的外表面滑動連接于滑孔的內(nèi)腔。

優(yōu)選的，所述滑塊的頂部固定連接有底座，所述底座的頂部設(shè)置有支架。

優(yōu)選的，所述支架左側(cè)的上端設(shè)置有鏡筒，所述鏡筒的右下端設(shè)置有調(diào)節(jié)螺絲，所述支架左側(cè)的下端固定連接有放置架。

優(yōu)選的，所述鏡筒的頂部設(shè)置有目鏡，所述鏡筒的底部設(shè)置有物鏡。

優(yōu)選的，所述箱體底部的四周均固定連接有支撐腿，且支撐腿的底部均設(shè)置有防滑墊。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果如下：

本實用新型設(shè)置了滑槽、螺紋桿、滑塊和滑桿，通過外置控制器開啟伺服電機(jī)工作，伺服電機(jī)帶動螺紋桿轉(zhuǎn)動，螺紋桿通過螺紋槽帶動活動板左右移動，活動板通過滑孔在滑桿的外表面左右滑動，穩(wěn)定活動板的左右運(yùn)動，活動板帶動滑塊在滑槽的內(nèi)腔左右運(yùn)動，滑塊帶動底座平穩(wěn)的左右運(yùn)動，達(dá)到了穩(wěn)定的目的，解決了現(xiàn)有的相干探測顯微鏡不具備穩(wěn)定性好的功能，導(dǎo)致滿足不了人們使用需求的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實用新型箱體剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實用新型活動板剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、箱體；2、支撐腿；3、放置架；4、物鏡；5、鏡筒；6、目鏡；7、調(diào)節(jié)螺絲；8、支架；9、底座；10、伺服電機(jī)；11、螺紋槽；12、滑槽；13、螺紋桿；14、滑塊；15、滑桿；16、活動板；17、滑孔。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護(hù)的范圍。