[實用新型]一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡

有效

• 申請號: 202021646548.0
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN213274317U
• 公開（公告）日: 2021-05-25
• 發明（設計）人: 張富軍
• 申請（專利權）人: 上海垚智電子科技有限公司
• 主分類號: G01D11/30
• 分類號: G01D11/30;G02B21/24
• 代理公司: 上海驍象知識產權代理有限公司 31315
• 代理人: 趙俊寅

1.一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡，包括箱體（1），其特征在于：所述箱體（1）右側的中端固定安裝有伺服電機（10），所述伺服電機（10）的輸出端貫穿箱體（1）右側中端的內表面固定連接有螺紋桿（13），且螺紋桿（13）的左側活動連接于箱體（1）內腔左側的中端，所述箱體（1）上下兩端的內表面均開設有滑槽（12），所述滑槽（12）內腔的右端均滑動連接有滑塊（14），所述滑塊（14）的內側固定連接有活動板（16），所述活動板（16）上下兩端的內表面均開設有滑孔（17），所述活動板（16）中端的內表面開設有螺紋槽（11），所述螺紋桿（13）右端的外表面螺紋連接于螺紋槽（11）的內腔，所述箱體（1）內腔的上下兩端均固定連接有滑桿（15），所述滑桿（15）右端的外表面滑動連接于滑孔（17）的內腔。

2.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡，其特征在于：所述滑塊（14）的頂部固定連接有底座（9），所述底座（9）的頂部設置有支架（8）。

3.根據權利要求2所述的一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡，其特征在于：所述支架（8）左側的上端設置有鏡筒（5），所述鏡筒（5）的右下端設置有調節螺絲（7），所述支架（8）左側的下端固定連接有放置架（3）。

4.根據權利要求3所述的一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡，其特征在于：所述鏡筒（5）的頂部設置有目鏡（6），所述鏡筒（5）的底部設置有物鏡（4）。

5.根據權利要求1所述的一種半導體檢測用穩定性好的相干探測顯微鏡，其特征在于：所述箱體（1）底部的四周均固定連接有支撐腿（2），且支撐腿（2）的底部均設置有防滑墊。