[實用新型]一種真空腔進樣系統

有效

• 申請號: 202021644793.8
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN212375375U
• 公開（公告）日: 2021-01-19
• 發明（設計）人: 楊宏;褚賽賽;李小芳;龔旗煌;池彬;趙嘉峰
• 申請（專利權）人: 北京大學;費勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 姜杉

本實用新型提供了一種真空腔進樣系統，用于解決現有技術中真空腔進樣系統容易破壞其他腔室的真空環境、無法實現大氣進樣的技術問題；包括：中轉腔和真空存樣腔；所述真空存樣腔包括第一法蘭、樣品固持裝置和第一傳樣裝置；所述第一法蘭設置第一閥門；所述中轉腔包括第二法蘭、第三法蘭、真空泵、傳樣臺和第二傳樣裝置；實施本實用新型的技術方案，中轉腔連接真空腔體，設置真空存樣腔，并通過閘閥隔離中轉腔、真空存樣腔和外部腔體，可在不破壞外部腔體真空環境的前提下完成進樣；設置常壓進樣門，可實現常壓進樣；真空存樣腔通過CF法蘭連接中轉腔，可拆卸，并設置手提支架，可實現樣品的轉移和快速切換。

技術領域

本實用新型涉及真空反應裝置領域，特別涉及一種真空腔進樣系統。

背景技術

真空腔體在化學及物理領域具有廣泛應用。其中，在表面科學、半導體、航空航天研究等領域。現有技術中，真空腔的進樣方式主要包括兩種，其一是直接進樣，但是進樣往往需要破壞真空腔的真空環境，將樣品放入反應器中后重新抽真空。這種實驗方式消耗的時間成本和人力成本較高，并且不適用于空氣敏感的樣品。其二是通過放有樣品的真空腔連接反應腔體進行進樣，但是這種方法真空腔安裝繁瑣，安裝過程中殘留的一小部分空氣難以避免得會進入真空腔中，并且樣品得轉移較為麻煩，同時無法實現大氣進樣。

因此需要一種樣品存儲轉移方便、可同時實現大氣進樣和真空進樣的真空腔進樣系統。

發明內容

為了解決上述技術問題，本實用新型中披露了一種真空腔進樣系統，本實用新型的技術方案是這樣實施的：

一種真空腔進樣系統，包括：中轉腔和真空存樣腔；所述真空存樣腔包括第一法蘭、樣品固持裝置和第一傳樣裝置；所述第一法蘭設置第一閥門；所述中轉腔包括第二法蘭、第三法蘭、真空泵、傳樣臺和第二傳樣裝置，所述傳樣臺固定至所述第二傳樣裝置；所述真空泵連通所述真空腔內部；所述第三法蘭設置第二閥門；所述第三法蘭密封固定至外部反應腔體；所述第一法蘭可拆卸式固定至所述第二法蘭；所述樣品固持裝置固定至所述第一傳樣裝置；所述第一傳樣裝置驅動所述樣品固持裝置進入所述中轉腔或退回所述真空存樣腔。

優選地，所述真空腔進樣系統，還包括常壓進樣門，所述中轉腔還包括第四法蘭，所述第四法蘭密封連接所述常壓進樣門。

優選地，所述第三法蘭可拆卸式固定至所述外部反應腔體。

優選地，所述第一法蘭和所述第二法蘭為CF法蘭。

優選地，所述第一閥門和/或所述第二閥門為閘板閥。

優選地，所述真空存樣腔設置視窗法蘭。

優選地，所述中轉腔設置視窗法蘭。

優選地，所述真空腔進樣系統，還包括手提支架，所述真空存樣腔固定至所述手提支架。

優選地，所述真空腔進樣系統，還包括真空計，所述真空計測量所述中轉腔內部氣壓。

實施本實用新型的技術方案可解決現有技術中真空腔進樣系統容易破壞其他腔室的真空環境、無法實現大氣進樣的技術問題；實施本實用新型的技術方案，中轉腔連接真空腔體，設置真空存樣腔，并通過閘閥隔離中轉腔、真空存樣腔和外部腔體，可在不破壞外部腔體真空環境的前提下完成進樣；設置常壓進樣門，可實現常壓進樣；真空存樣腔通過CF法蘭連接中轉腔，可拆卸，并設置手提支架，可實現樣品的轉移和快速切換。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一種實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動性的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的一種具體實施方式的進樣系統結構示意圖；