[實(shí)用新型]一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021644793.8
• 申請(qǐng)日: 2020-08-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212375375U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊宏;褚賽賽;李小芳;龔旗煌;池彬;趙嘉峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京大學(xué);費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/56
• 分類號(hào): C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31253
• 代理人: 姜杉

1.一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，包括：中轉(zhuǎn)腔和真空存樣腔；

所述真空存樣腔包括第一法蘭、樣品固持裝置和第一傳樣裝置；所述第一法蘭設(shè)置第一閥門；

所述中轉(zhuǎn)腔包括第二法蘭、第三法蘭、真空泵、傳樣臺(tái)和第二傳樣裝置，所述傳樣臺(tái)固定至所述第二傳樣裝置；

所述真空泵連通所述真空腔內(nèi)部；所述第三法蘭設(shè)置第二閥門；

所述第三法蘭密封固定至外部反應(yīng)腔體；

所述第一法蘭可拆卸式固定至所述第二法蘭；

所述樣品固持裝置固定至所述第一傳樣裝置；所述第一傳樣裝置驅(qū)動(dòng)所述樣品固持裝置進(jìn)入所述中轉(zhuǎn)腔或退回所述真空存樣腔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，還包括常壓進(jìn)樣門，所述中轉(zhuǎn)腔還包括第四法蘭，所述第四法蘭密封連接所述常壓進(jìn)樣門。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，所述第三法蘭可拆卸式固定至所述外部反應(yīng)腔體。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一法蘭和所述第二法蘭為CF法蘭。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，所述第一閥門和/或所述第二閥門為閘板閥。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，所述真空存樣腔設(shè)置視窗法蘭。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，所述中轉(zhuǎn)腔設(shè)置視窗法蘭。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，還包括手提支架，所述真空存樣腔固定至所述手提支架。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種真空腔進(jìn)樣系統(tǒng)，其特征在于，還包括真空計(jì)，所述真空計(jì)測(cè)量所述中轉(zhuǎn)腔內(nèi)部氣壓。