[實用新型]涂覆均勻的真空氣相沉積系統

有效

• 申請號: 202021643619.1
• 申請日: 2020-08-10
• 公開（公告）號: CN212864940U
• 公開（公告）日: 2021-04-02
• 發明（設計）人: 浦招前
• 申請（專利權）人: 蘇州派華納米科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了涂覆均勻的真空氣相沉積系統，包括真空氣相沉積系統主體，所述真空氣相沉積系統主體的內端中心設有第二管件，所述第二管件的側端固定連接有第一管件，所述第一管件包括限位板、套管、轉軸、側管和中心管，所述套管設在第一管件的內端，所述套管的內端與限位板相固定設置，所述限位板的內端與側管相固定設置，所述側管的中心設置中心管，所述側管和中心管的底部位置與轉軸相轉動連接設置，所述第二管件包括扣殼、第一連通管、底架、驅動輥架和第二連通管，所述底架設在第二管件的內端底部，所述底架的一端與第一連通管相連通。本實用新型為涂覆均勻的真空氣相沉積系統，通過第一管件和第二管件的設置，實現內端涂覆均勻的目的。

技術領域

本實用新型涉及氣相沉積設備技術領域，具體為涂覆均勻的真空氣相沉積系統。

背景技術

真空氣相沉積系統可以幫助進行真空氣相沉積工作，解決傳統真空氣相沉積的不便，同時可以方便進行安裝設置，使得真空氣相沉積可以適應更多的加工環境，達到了省時省力的目的，方便進行維修工作，保證產品的質量，幫助進行覆膜工作，但是目前真空氣相沉積系統存在以下問題，存在不便于進行均勻涂覆的現象，會造成一定的不便，需要進行改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供涂覆均勻的真空氣相沉積系統，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：涂覆均勻的真空氣相沉積系統，包括真空氣相沉積系統主體，所述真空氣相沉積系統主體的內端中心設有第二管件，所述第二管件的側端固定連接有第一管件，所述第一管件包括限位板、套管、轉軸、側管和中心管，所述套管設在第一管件的內端，所述套管的內端與限位板相固定設置，所述限位板的內端與側管相固定設置，所述側管的中心設置中心管，所述側管和中心管的底部位置與轉軸相轉動連接設置，所述第二管件包括扣殼、第一連通管、底架、驅動輥架和第二連通管，所述底架設在第二管件的內端底部，所述底架的一端與第一連通管相連通，所述底架的另一端與第二連通管相連通，所述底架的中心與驅動輥架相轉動連接設置，所述底架的上端與扣殼相轉動連接設置。

優選的，所述第二管件內端的扣殼伸縮連接在底架對稱設置的一端位置處。

優選的，所述第二管件內端的第一連通管和第二連通管設在側管和中心管的內端位置。

優選的，所述第一管件內端的限位板底部位于轉軸的連接位置處設有槽體。

優選的，所述第一管件內端的轉軸與第二管件內端的驅動輥架相轉動連接設置。

優選的，所述第二管件內端的第一連通管和第二連通管與外界相連通設置，且通過套管、側管和中心管內端密封。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過安裝第一管件，第一管件內端的套管可與外界相密封設置，通過內端的限位板與側管和中心管相固定連接，通過轉軸可與外端的電機進行連接，實現轉軸的中心驅動功能，且位于限位板位于轉軸連接位置處設置槽體，可實現轉軸的活動限制。

2、通過安裝第二管件，第二管件內端的第一連通管和第二連通管與外界相連通，實現內端的真空沉積，且底架的上端轉動設置扣殼，扣殼可在底架的內端進行抽拉，底部位置內置在底架的另一端，可與底架進行閉合，實現內端的封閉，通過轉軸的轉動，可作用在驅動輥架上，帶動驅動輥架進行轉動，使得上端連接的物體進行位置變化，實現均勻涂覆的現象，且第一連通管、底架和第二連通管可與側管、中心管和套管共同構成密閉的空間，實現內端真空處理。

附圖說明

圖1為本實用新型主體結構示意圖；

圖2為本實用新型第一管件結構示意圖；

圖3為本實用新型第二管件結構示意圖。