[實(shí)用新型]涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021643619.1
• 申請(qǐng)日: 2020-08-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN212864940U
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 浦招前
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 蘇州派華納米科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/22
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/22;C23C14/50;C23C16/44;C23C16/458
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，包括真空氣相沉積系統(tǒng)主體(1)，其特征在于：所述真空氣相沉積系統(tǒng)主體(1)的內(nèi)端中心設(shè)有第二管件(3)，所述第二管件(3)的側(cè)端固定連接有第一管件(2)，所述第一管件(2)包括限位板(4)、套管(5)、轉(zhuǎn)軸(6)、側(cè)管(7)和中心管(8)，所述套管(5)設(shè)在第一管件(2)的內(nèi)端，所述套管(5)的內(nèi)端與限位板(4)相固定設(shè)置，所述限位板(4)的內(nèi)端與側(cè)管(7)相固定設(shè)置，所述側(cè)管(7)的中心設(shè)置中心管(8)，所述側(cè)管(7)和中心管(8)的底部位置與轉(zhuǎn)軸(6)相轉(zhuǎn)動(dòng)連接設(shè)置，所述第二管件(3)包括扣殼(9)、第一連通管(10)、底架(11)、驅(qū)動(dòng)輥架(12)和第二連通管(13)，所述底架(11)設(shè)在第二管件(3)的內(nèi)端底部，所述底架(11)的一端與第一連通管(10)相連通，所述底架(11)的另一端與第二連通管(13)相連通，所述底架(11)的中心與驅(qū)動(dòng)輥架(12)相轉(zhuǎn)動(dòng)連接設(shè)置，所述底架(11)的上端與扣殼(9)相轉(zhuǎn)動(dòng)連接設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述第二管件(3)內(nèi)端的扣殼(9)伸縮連接在底架(11)對(duì)稱(chēng)設(shè)置的一端位置處。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述第二管件(3)內(nèi)端的第一連通管(10)和第二連通管(13)設(shè)在側(cè)管(7)和中心管(8)的內(nèi)端位置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述第一管件(2)內(nèi)端的限位板(4)底部位于轉(zhuǎn)軸(6)的連接位置處設(shè)有槽體。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述第一管件(2)內(nèi)端的轉(zhuǎn)軸(6)與第二管件(3)內(nèi)端的驅(qū)動(dòng)輥架(12)相轉(zhuǎn)動(dòng)連接設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂覆均勻的真空氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于：所述第二管件(3)內(nèi)端的第一連通管(10)和第二連通管(13)與外界相連通設(shè)置，且通過(guò)套管(5)、側(cè)管(7)和中心管(8)內(nèi)端密封。