[實用新型]一種靶材組件

有效

• 申請號: 202021620101.6
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN212925152U
• 公開（公告）日: 2021-04-09
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;侯娟華
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

本實用新型涉及一種靶材組件，所述靶材組件的背板上設置通孔；所述靶材組件的靶材上設置盲孔；所述通孔的中心線與背板中心線的垂直距離為360?370mm；所述盲孔開口的一側和通孔相連接；所述盲孔與所述通孔的中心線相重合；所述盲孔的垂直深度為所述靶材厚度的1/8?1/6。本實用新型中，通過在靶材組件中背板和靶材的特定位置分別設置通孔和盲孔使得在靶材濺射擊穿時，起到預警的作用，同時也使得濺射過程中，濺射深度更加均勻，提升了靶材的濺射利用率。

技術領域

本實用新型涉及靶材領域，具體涉及一種靶材組件。

背景技術

目前，所使用的Al靶沒有提前預防、預警被打穿的設計，如果靶材在使用過程中被擊穿，就會打到背板上面，會污染半導體芯片。

CN110205591A公開了一種鋁合金濺射靶材，其包含含有0.1原子％-3原子％的Nd的鋁合金，X射線衍射峰值強度滿足下述式(1)的關系，維氏硬度為29-36；

IAl(200)＞IAl(311)＞IAl(220)＞IAl(111) (1)

式中，IAl(200)表示Al(200)面的X射線衍射峰值強度，IAl(311)表示Al(311)面的X射線衍射峰值強度，IAl(220)表示Al(220)面的X射線衍射峰值強度，IAl(111)表示Al(111)面的X射線衍射峰值強度。

CN1860250A提供了一種減少像氣孔這樣的內部缺陷、不發生翹曲的大面積鋁類靶材。它是由多塊鋁合金靶材構成件構成的鋁類靶材，具備通過攪拌摩擦焊接法接合鋁合金靶材構成件的接合部。此外，該接合部為在鋁母材中分散了直徑10μm以下的金屬間化合物析出物的組織，存在0.01-0.1個/cm²的直徑500μm以下的氣孔。

濺射足夠長時會擊穿高純靶材，濺射打到背板上。背板材料是鋁合金成分與靶材的高純鋁不同，如果濺射過程中濺射到背板上，背板的合金成分會污染半導體芯片。同時濺射過程中，由于靶材結構及濺射過程參數的影響，靶材濺射的深度不一，濺射不均勻，導致濺射擊穿后別的位置無法使用，造成材料的浪費。

實用新型內容

鑒于現有技術中存在的問題，本實用新型的目的在于提供一種靶材組件，可以使得在靶材濺射擊穿時，起到預警的作用，同時也使得濺射過程中，濺射深度更加均勻，提升了靶材的濺射利用率。

為達此目的，本實用新型采用以下技術方案：

本實用新型提供一種靶材組件，所述靶材組件的背板上設置通孔；

所述靶材組件的靶材上設置盲孔；

所述通孔的中心線與背板中心線的垂直距離為360-370mm；

所述盲孔開口的一側和通孔相連接；

所述盲孔與所述通孔的中心線相重合；

所述盲孔的垂直深度為所述靶材厚度的1/8-1/6。

本實用新型中，通過在靶材組件中背板和靶材的特定位置分別設置通孔和盲孔使得在靶材濺射擊穿時，起到預警的作用，同時也使得濺射過程中，濺射深度更加均勻，提升了靶材的濺射利用率。

本實用新型中，所述通孔的中心線與背板中心線的垂直距離為360-370mm，例如可以是360mm、361mm、362mm、363mm、364mm、365mm、366mm、367mm、368mm、369mm或370mm等，但不限于所列舉的數值，該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。

本實用新型中，所述盲孔的垂直深度為所述靶材厚度的1/8-1/6，例如可以是1/8、5/39、5/38、5/36、5/36、1/7、5/34、5/33、5/32、5/31或1/6等，但不限于所列舉的數值，該范圍內其他未列舉的數值同樣適用。