[實用新型]一種靶材組件有效
| 申請號： | 202021620101.6 | 申請日： | 2020-08-06 |
| 公開（公告）號： | CN212925152U | 公開（公告）日： | 2021-04-09 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;侯娟華 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 組件 | ||
【權利要求書】：
1.一種靶材組件，其特征在于，所述靶材組件的背板上設置通孔；
所述靶材組件的靶材上設置盲孔；
所述通孔的中心線與背板中心線的垂直距離為360-370mm；
所述盲孔開口的一側和通孔相連接；
所述盲孔與所述通孔的中心線相重合；
所述盲孔的垂直深度為所述靶材厚度的1/8-1/6。
2.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述通孔包括圓孔或多邊形孔中的一種；
所述盲孔包括圓孔或多邊形孔中的一種。
3.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述通孔至少設置2個；
所述盲孔至少設置2個。
4.如權利要求3所述的靶材組件，其特征在于，所述通孔和盲孔均以相同的圓心角均勻分布。
5.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述靶材組件包括圓形靶材組件或方形靶材組件。
6.如權利要求1所述的靶材組件，其特征在于，所述通孔的直徑為3-10mm。
7.如權利要求1或6所述的靶材組件，其特征在于，所述盲孔的直徑大于通孔的直徑。
8.如權利要求7所述的靶材組件，其特征在于，所述盲孔的直徑為4-12mm。
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