[實用新型]一種硅晶圓刻蝕裝置

有效

• 申請號: 202021612897.0
• 申請日: 2020-08-06
• 公開（公告）號: CN212434588U
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 朱博超;章志成;鄒嚴宇
• 申請（專利權）人: 浙江森田新材料有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 杭州新澤知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 33311
• 代理人: 曾建芳

1.一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：包括刻蝕裝置外殼(1)、控制面板(2)、硅晶圓承載機構(3)、滴膠機構(4)、均布機構(5)、氮氣平布機構(6)、檢測箱(7)和恒溫恒濕機構(8)，所述刻蝕裝置外殼(1)一側設置有所述控制面板(2)，所述刻蝕裝置外殼(1)內側下部設置有所述硅晶圓承載機構(3)，所述硅晶圓承載機構(3)上部設置有所述滴膠機構(4)，所述滴膠機構(4)一側設置有所述均布機構(5)，所述均布機構(5)后側設置有所述氮氣平布機構(6)，所述氮氣平布機構(6)另一側設置有所述檢測箱(7)，所述檢測箱(7)上部設置有所述恒溫恒濕機構(8)；

所述滴膠機構(4)包括滴膠箱(401)，所述滴膠箱(401)內側設置有滴膠管道(402)，所述滴膠管道(402)上側固定連接分流管道(403)，所述分流管道(403)一側固定連接供膠泵(404)，所述供膠泵(404)后側固定連接供膠管道(405)，所述供膠管道(405)后側連接膠液儲存箱(406)，所述膠液儲存箱(406)后側上部設置有加注管道(407)，所述滴膠管道(402)通過插槽連接所述分流管道(403)，所述分流管道(403)通過螺栓連接所述供膠泵(404)，所述供膠泵(404)通過所述供膠管道(405)連接用于膠液攪拌保持膠液溫度的所述膠液儲存箱(406)。

2.根據權利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述刻蝕裝置外殼(1)包括裝置殼體(101)，所述裝置殼體(101)前部設置有滑門軌道(102)，所述滑門軌道(102)前部滑動連接側滑門(103)，所述側滑門(103)上設置有觀察窗(104)，所述裝置殼體(101)底部設置有支撐墊(105)，所述裝置殼體(101)通過螺栓連接所述滑門軌道(102)，所述滑門軌道(102)通過滑槽連接所述側滑門(103)，所述觀察窗(104)為玻璃材質，所述支撐墊(105)為橡膠材質。

3.根據權利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述硅晶圓承載機構(3)包括承載板(301)，所述承載板(301)下部滑動連接承載軌道(302)，所述承載板(301)上部設置有承載轉盤(303)，所述承載轉盤(303)下部設置有轉盤減速器(304)，所述轉盤減速器(304)一側連接轉盤電機(305)，所述轉盤減速器(304)另一側設置有螺旋桿(306)，所述螺旋桿(306)后端滑動連接螺旋桿支座(307)，所述螺旋桿(306)前段轉動連接螺旋桿減速器(309)，所述螺旋桿減速器(309)后側連接螺旋桿電機(308)，所述承載板(301)通過軸承連接所述承載轉盤(303)，所述承載轉盤(303)通過聯軸器連接所述轉盤減速器(304)，所述轉盤減速器(304)通過齒輪連接所述轉盤電機(305)，所述螺旋桿減速器(309)通過螺栓連接所述承載板(301)，所述螺旋桿減速器(309)通過聯軸器連接所述螺旋桿(306)，所述螺旋桿(306)通過螺紋連接所述螺旋桿支座(307)，所述螺旋桿電機(308)通過齒輪連接所述螺旋桿減速器(309)。

4.根據權利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述均布機構(5)包括升降均布箱(501)，所述升降均布箱(501)一側滑動連接升降軌道(502)，所述升降軌道(502)一側設置有升降電機(503)，所述升降電機(503)內側設置有升降減速器(504)，所述升降電機(503)一側設置有均布旋轉電機(505)，所述均布旋轉電機(505)下部轉動連接均布輪(506)，所述均布輪(506)下部設置有均布葉片(507)，所述升降均布箱(501)通過滑槽連接所述升降軌道(502)，所述升降電機(503)通過齒輪連接所述升降減速器(504)，所述均布旋轉電機(505)通過螺栓連接所述升降均布箱(501)，所述均布旋轉電機(505)通過聯軸器連接所述均布輪(506)，所述均布輪(506)下端均勻布置所述均布葉片(507)。