[實(shí)用新型]一種硅晶圓刻蝕裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202021612897.0
• 申請(qǐng)日: 2020-08-06
• 公開（公告）號(hào): CN212434588U
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱博超;章志成;鄒嚴(yán)宇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 浙江森田新材料有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 杭州新澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33311
• 代理人: 曾建芳

1.一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：包括刻蝕裝置外殼(1)、控制面板(2)、硅晶圓承載機(jī)構(gòu)(3)、滴膠機(jī)構(gòu)(4)、均布機(jī)構(gòu)(5)、氮?dú)馄讲紮C(jī)構(gòu)(6)、檢測箱(7)和恒溫恒濕機(jī)構(gòu)(8)，所述刻蝕裝置外殼(1)一側(cè)設(shè)置有所述控制面板(2)，所述刻蝕裝置外殼(1)內(nèi)側(cè)下部設(shè)置有所述硅晶圓承載機(jī)構(gòu)(3)，所述硅晶圓承載機(jī)構(gòu)(3)上部設(shè)置有所述滴膠機(jī)構(gòu)(4)，所述滴膠機(jī)構(gòu)(4)一側(cè)設(shè)置有所述均布機(jī)構(gòu)(5)，所述均布機(jī)構(gòu)(5)后側(cè)設(shè)置有所述氮?dú)馄讲紮C(jī)構(gòu)(6)，所述氮?dú)馄讲紮C(jī)構(gòu)(6)另一側(cè)設(shè)置有所述檢測箱(7)，所述檢測箱(7)上部設(shè)置有所述恒溫恒濕機(jī)構(gòu)(8)；

所述滴膠機(jī)構(gòu)(4)包括滴膠箱(401)，所述滴膠箱(401)內(nèi)側(cè)設(shè)置有滴膠管道(402)，所述滴膠管道(402)上側(cè)固定連接分流管道(403)，所述分流管道(403)一側(cè)固定連接供膠泵(404)，所述供膠泵(404)后側(cè)固定連接供膠管道(405)，所述供膠管道(405)后側(cè)連接膠液儲(chǔ)存箱(406)，所述膠液儲(chǔ)存箱(406)后側(cè)上部設(shè)置有加注管道(407)，所述滴膠管道(402)通過插槽連接所述分流管道(403)，所述分流管道(403)通過螺栓連接所述供膠泵(404)，所述供膠泵(404)通過所述供膠管道(405)連接用于膠液攪拌保持膠液溫度的所述膠液儲(chǔ)存箱(406)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述刻蝕裝置外殼(1)包括裝置殼體(101)，所述裝置殼體(101)前部設(shè)置有滑門軌道(102)，所述滑門軌道(102)前部滑動(dòng)連接側(cè)滑門(103)，所述側(cè)滑門(103)上設(shè)置有觀察窗(104)，所述裝置殼體(101)底部設(shè)置有支撐墊(105)，所述裝置殼體(101)通過螺栓連接所述滑門軌道(102)，所述滑門軌道(102)通過滑槽連接所述側(cè)滑門(103)，所述觀察窗(104)為玻璃材質(zhì)，所述支撐墊(105)為橡膠材質(zhì)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述硅晶圓承載機(jī)構(gòu)(3)包括承載板(301)，所述承載板(301)下部滑動(dòng)連接承載軌道(302)，所述承載板(301)上部設(shè)置有承載轉(zhuǎn)盤(303)，所述承載轉(zhuǎn)盤(303)下部設(shè)置有轉(zhuǎn)盤減速器(304)，所述轉(zhuǎn)盤減速器(304)一側(cè)連接轉(zhuǎn)盤電機(jī)(305)，所述轉(zhuǎn)盤減速器(304)另一側(cè)設(shè)置有螺旋桿(306)，所述螺旋桿(306)后端滑動(dòng)連接螺旋桿支座(307)，所述螺旋桿(306)前段轉(zhuǎn)動(dòng)連接螺旋桿減速器(309)，所述螺旋桿減速器(309)后側(cè)連接螺旋桿電機(jī)(308)，所述承載板(301)通過軸承連接所述承載轉(zhuǎn)盤(303)，所述承載轉(zhuǎn)盤(303)通過聯(lián)軸器連接所述轉(zhuǎn)盤減速器(304)，所述轉(zhuǎn)盤減速器(304)通過齒輪連接所述轉(zhuǎn)盤電機(jī)(305)，所述螺旋桿減速器(309)通過螺栓連接所述承載板(301)，所述螺旋桿減速器(309)通過聯(lián)軸器連接所述螺旋桿(306)，所述螺旋桿(306)通過螺紋連接所述螺旋桿支座(307)，所述螺旋桿電機(jī)(308)通過齒輪連接所述螺旋桿減速器(309)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓刻蝕裝置，其特征在于：所述均布機(jī)構(gòu)(5)包括升降均布箱(501)，所述升降均布箱(501)一側(cè)滑動(dòng)連接升降軌道(502)，所述升降軌道(502)一側(cè)設(shè)置有升降電機(jī)(503)，所述升降電機(jī)(503)內(nèi)側(cè)設(shè)置有升降減速器(504)，所述升降電機(jī)(503)一側(cè)設(shè)置有均布旋轉(zhuǎn)電機(jī)(505)，所述均布旋轉(zhuǎn)電機(jī)(505)下部轉(zhuǎn)動(dòng)連接均布輪(506)，所述均布輪(506)下部設(shè)置有均布葉片(507)，所述升降均布箱(501)通過滑槽連接所述升降軌道(502)，所述升降電機(jī)(503)通過齒輪連接所述升降減速器(504)，所述均布旋轉(zhuǎn)電機(jī)(505)通過螺栓連接所述升降均布箱(501)，所述均布旋轉(zhuǎn)電機(jī)(505)通過聯(lián)軸器連接所述均布輪(506)，所述均布輪(506)下端均勻布置所述均布葉片(507)。