[實用新型]一種壓差開關(guān)、氣體控制箱和半導(dǎo)體處理設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202021574414.2
• 申請日: 2020-07-31
• 公開（公告）號: CN213184199U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 江家瑋;王治平
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67;G01L11/00
• 代理公司: 深圳中創(chuàng)智財知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44553
• 代理人: 文言;田宇

本實用新型涉及等離子體刻蝕的技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種壓差開關(guān)、氣體控制箱和半導(dǎo)體處理設(shè)備，所述壓差開關(guān)包括至少兩個壓力探測機(jī)構(gòu)和壓力波動阻尼器，所述壓力探測機(jī)構(gòu)的其中一個用于探測第一環(huán)境中的壓力，另外一個用于探測第二環(huán)境中的壓力；所述壓力波動阻尼器置于至少一個所述壓力探測機(jī)構(gòu)中，用于過濾短暫的壓力波動。將壓力管道中偶爾會產(chǎn)生的短暫的壓力波動過濾掉，短暫的壓力波動并不會造成安全事故，防止壓差開關(guān)將短暫的壓力波動也判斷為壓力值異常、不達(dá)標(biāo)從而將設(shè)備關(guān)閉，從而防止影響生產(chǎn)和報廢正在刻蝕的晶圓，造成損失；并且，所述壓差開關(guān)的體積較小，易于集成安裝于半導(dǎo)體處理設(shè)備中。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及等離子體刻蝕的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種壓差開關(guān)、氣體控制箱和半導(dǎo)體處理設(shè)備。

背景技術(shù)

干法刻蝕工藝需要用到各種工藝氣體，其中包括可燃?xì)怏w和有毒有害氣體，所以在干法刻蝕的裝置外接一個壓力管道，防止用到的各種工藝氣體外泄，保護(hù)操作者的安全，然后要實時監(jiān)測壓力管道內(nèi)的壓力值，壓力值也是經(jīng)過計算并測試，確保即使管路上有氣體外泄也不會泄露到干法刻蝕的裝置外，所以這個壓力值的監(jiān)測非常重要，一旦壓力值不達(dá)標(biāo)，壓差開關(guān)就會報警，需要切斷工藝氣體，刻蝕工藝也會因此強(qiáng)制停止。

然而，現(xiàn)有的壓差開關(guān)只要壓力管道內(nèi)的氣壓有波動，就會報警。實際上短暫的氣壓波動并不會引起安全事故，但是卻會影響工藝，甚至?xí)髲U正在刻蝕的晶圓，從而造成不必要的損失。

常用的壓差開關(guān)按是否帶控制系統(tǒng)分為兩類，一種純機(jī)械的壓差開關(guān)，比如膜片式的壓差開關(guān)，優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡單小巧，易于安裝，且價格低，缺點(diǎn)是對于壓力波動特別敏感，極易發(fā)生不必要的誤報警。另一種是帶有延時過濾波動的壓差開關(guān)，將控制系統(tǒng)和壓差開關(guān)集合在一起，故此類壓差開關(guān)的價格極高，并且體積大，不利于集成安裝。

因此，迫切需要一種能夠過濾掉短暫波動的壓力波動，且體積較小，便于集成安裝的壓差開關(guān)。

實用新型內(nèi)容

鑒于上述的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種壓差開關(guān)、氣體控制箱和半導(dǎo)體處理設(shè)備，以過濾掉短暫波動，且體積較小，便于集成安裝。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供的技術(shù)方案為：一種壓差開關(guān)，包括至少兩個壓力探測機(jī)構(gòu)和壓力波動阻尼器，所述壓力探測機(jī)構(gòu)的其中一個用于探測第一環(huán)境中的壓力，另外一個用于探測第二環(huán)境中的壓力；所述壓力波動阻尼器置于至少一個所述壓力探測機(jī)構(gòu)中，用于過濾短暫的壓力波動。

進(jìn)一步地，部分的所述壓力探測機(jī)構(gòu)中設(shè)置所述壓力波動阻尼器。

進(jìn)一步地，全部的壓力探測機(jī)構(gòu)中均設(shè)置所述壓力波動阻尼器。

進(jìn)一步地，所述壓力波動阻尼器為多孔結(jié)構(gòu)零件。

進(jìn)一步地，所述多孔結(jié)構(gòu)零件的孔隙率范圍為10％至95％。

進(jìn)一步地，所述多孔結(jié)構(gòu)零件的材料包括泡棉或陶瓷中的至少一種。

進(jìn)一步地，所述多孔結(jié)構(gòu)零件的長度范圍為所述壓力探測機(jī)構(gòu)的管徑的一倍至填滿整個所述壓力探測機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步地，所述壓差開關(guān)為膜片式的壓差開關(guān)或不帶有過濾波動的壓差開關(guān)中的一種。

相應(yīng)的，本實用新型還提供的一種氣體控制箱，包括氣箱和如上所述的壓差管開，所述氣箱其包括進(jìn)氣口和出氣口，所述出氣口與排氣管道連接；所述壓差開關(guān)的其中一個壓力探測機(jī)構(gòu)連接到所述排氣管道內(nèi)，另一個所述壓力探測機(jī)構(gòu)放置在外界大氣中。

進(jìn)一步地，所述排氣管道為負(fù)壓管道。

進(jìn)一步地，所述排氣管道為正壓管道。

相應(yīng)的，本實用新型還提供的一種半導(dǎo)體處理設(shè)備，包括反應(yīng)腔和如上所述的氣體控制箱；所述氣體輸送管道的一端與所述氣體控制箱連接，另一端與所述反應(yīng)腔連接，用于向所述反應(yīng)腔內(nèi)輸送氣體。