[實用新型]一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備

有效

• 申請號: 202021528000.6
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN213161982U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 李小明;劉曉云;李斌
• 申請（專利權）人: 東莞敏威光電科技有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/38;B07C5/02;G01N21/89;H01L21/67
• 代理公司: 東莞市科凱偉成知識產權代理有限公司 44627
• 代理人: 王宇聰

本實用新型涉及一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，包括機架、工作臺、硅片傳送機構、光源檢測機構和分揀剔除機構；工作臺固定安裝在機架的上端面，硅片傳送機構固定安裝在工作臺的上表面；光源檢測機構架設在硅片傳送機構的輸入端；分揀剔除機構架設在硅片傳送機構的輸出端；其中，硅片傳送機構包括傳送架、若干同步輪和皮帶；傳送架固定設置工作臺的上表面，各同步輪轉動連接在傳送架的內側壁，皮帶套設在各同步輪上。本實用新型通過將硅片傳送機構、光源檢測機構和分揀剔除機構高度集成，實現硅片的自動、高效、準確地分選，有效地提高硅片檢測分選的產能，保證硅片根據參數進行精準分選并且降低誤檢率等優點。

技術領域

本實用新型屬于光電檢測設備技術領域，尤其涉及一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備。

背景技術

半導體硅片是半導體器件制作的基礎原料。半導體器件生產線所生產的產品眾多，規格型號各有不同。針對不同器件的規格參數需選擇特定電阻率、厚度的硅片進行投產。若選擇的硅片電阻率、厚度及外觀不符合要求，則生產出的產品會發生電性參數的偏離，形成產品不良。目前來料硅片需檢測的參數如下：1.硅片外觀參數：崩邊、缺口、沾污、劃傷；2.硅片幾何參數；厚度、TTV、翹曲、形變；3.硅片電阻率參數：阻值、P/N型判斷；為滿足半導體器件產品對來料硅片的檢測要求就需要設計人員兼顧考慮以上三方面的檢測參數。目前市面上的半導體硅片測試分選設備絕大多數采用人工抽檢與探針檢測等方式，其存在以下缺點：1.探針臺檢測分選效率低，難以滿足大規模生產的要求；2.人工檢測誤檢率高；3.目前市面上的設備只能檢測單一參數或2～3個參數，難以根據硅片的外觀、幾何及電阻率參數進行合理的分選，影響產品良率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，旨在解決現有技術中產能效率低、誤檢率高、檢測參數單一的問題。

為實現上述目的，本實用新型實施例提供的一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，包括機架、工作臺、硅片傳送機構、光源檢測機構和分揀剔除機構；所述工作臺固定安裝在所述機架的上端面，所述硅片傳送機構固定安裝在所述工作臺的上表面以向前輸送硅片；所述光源檢測機構架設在所述硅片傳送機構的輸入端以拍攝并攝取硅片的檢測影像；所述分揀剔除機構架設在所述硅片傳送機構的輸出端以剔除經所述光源檢測機構檢驗不及格的硅片；其中，所述硅片傳送機構包括傳送架、若干同步輪和皮帶；所述傳送架固定設置所述工作臺的上表面，各所述同步輪轉動連接在所述傳送架的內側壁，所述皮帶套設在各所述同步輪上。

可選地，所述光源檢測機構包括架設于所述傳送架兩側并固定連接在所述工作臺上表面的檢測安裝架、相鄰固定安裝在所述檢測安裝架上的線掃相機和可調節線掃光源、以及套設在所述檢測安裝架的上表面并將所述線掃相機和所述可調節線掃光源相包圍的外罩箱。

可選地，所述檢測安裝架上豎直固定有架設安裝柱，所述架設安裝柱的端部設置有相機位調整座，所述線掃相機固定連接在所述相機位調整座上。

可選地，所述可調節線掃光源包括旋轉組件和設于該旋轉組件上的線掃光源主體；所述旋轉組件包括線掃旋轉軸、安裝側板和旋轉塊，兩個所述安裝側板平行固定在所述檢測安裝架的兩側，所述旋轉塊固定在所述安裝側板上，所述線掃旋轉軸的兩端可轉動地安裝在所述旋轉塊上，所述線掃光源主體固定在所述線掃旋轉軸上。

可選地，所述檢測安裝架的底部設置有若干支撐架，各所述支撐架的底部均與所述工作臺固定連接。

可選地，所述分揀剔除機構包括架設于所述傳送架兩側并固定連接在所述工作臺上表面的龍門架、設于該龍門架上的動力組件及橫向導軌和可升降的抓料組件；所述抓料組件在所述動力組件作用下沿所述橫向導軌往復平移的同時，且相對于所述龍門架做升降運動。