[實用新型]一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備

有效

• 申請號: 202021528000.6
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN213161982U
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: 李小明;劉曉云;李斌
• 申請（專利權）人: 東莞敏威光電科技有限公司
• 主分類號: B07C5/36
• 分類號: B07C5/36;B07C5/38;B07C5/02;G01N21/89;H01L21/67
• 代理公司: 東莞市科凱偉成知識產權代理有限公司 44627
• 代理人: 王宇聰

1.一種應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，包括機架、工作臺、硅片傳送機構、光源檢測機構和分揀剔除機構；其特征在于：所述工作臺固定安裝在所述機架的上端面，所述硅片傳送機構固定安裝在所述工作臺的上表面以向前輸送硅片；所述光源檢測機構架設在所述硅片傳送機構的輸入端以拍攝并攝取硅片的檢測影像；所述分揀剔除機構架設在所述硅片傳送機構的輸出端以剔除經所述光源檢測機構檢驗不及格的硅片；其中，所述硅片傳送機構包括傳送架、若干同步輪和皮帶；所述傳送架固定設置所述工作臺的上表面，各所述同步輪轉動連接在所述傳送架的內側壁，所述皮帶套設在各所述同步輪上。

2.根據權利要求1所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述光源檢測機構包括架設于所述傳送架兩側并固定連接在所述工作臺上表面的檢測安裝架、相鄰固定安裝在所述檢測安裝架上的線掃相機和可調節線掃光源、以及套設在所述檢測安裝架的上表面并將所述線掃相機和所述可調節線掃光源相包圍的外罩箱。

3.根據權利要求2所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述檢測安裝架上豎直固定有架設安裝柱，所述架設安裝柱的端部設置有相機位調整座，所述線掃相機固定連接在所述相機位調整座上。

4.根據權利要求2所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述可調節線掃光源包括旋轉組件和設于該旋轉組件上的線掃光源主體；所述旋轉組件包括線掃旋轉軸、安裝側板和旋轉塊，兩個所述安裝側板平行固定在所述檢測安裝架的兩側，所述旋轉塊固定在所述安裝側板上，所述線掃旋轉軸的兩端可轉動地安裝在所述旋轉塊上，所述線掃光源主體固定在所述線掃旋轉軸上。

5.根據權利要求2所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述檢測安裝架的底部設置有若干支撐架，各所述支撐架的底部均與所述工作臺固定連接。

6.根據權利要求1所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述分揀剔除機構包括架設于所述傳送架兩側并固定連接在所述工作臺上表面的龍門架、設于該龍門架上的動力組件及橫向導軌和可升降的抓料組件；所述抓料組件在所述動力組件作用下沿所述橫向導軌往復平移的同時，且相對于所述龍門架做升降運動。

7.根據權利要求6所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述動力組件包括分別設于所述龍門架兩側的電機及限位板和設于該限位板一側的動力板，所述電機的輸出軸依次穿過所述龍門架及限位板與所述動力板連接；所述動力板上開設有腰圓孔，所述限位板上開設有拱形腰圓孔，且該拱形腰圓孔的頂端設有一平直部；所述抓料組件的一端依次穿過所述腰圓孔及所述拱形腰圓孔，所述電機驅動所述動力板正轉或反轉，帶動所述抓料組件做升降及水平移栽的復合運動。

8.根據權利要求7所述的應用于光源檢測的硅片自動傳送設備，其特征在于：所述抓料組件包括沿著所述橫向導軌滑行的抓料安裝板、豎向設于該抓料安裝板上的滑塊、沿著該滑塊滑行的抓料架和設于該抓料架底端的至少兩吸嘴、設于所述抓料架頂端的連接座、設于該連接座一側的橫梁和轉動設于該橫梁上的兩滾動輪組；所述橫梁依次穿過所述腰圓孔及所述拱形腰圓孔，且兩所述滾動輪組分別與所述腰圓孔及所述拱形腰圓孔線接觸。