[實用新型]晶圓存儲裝置

有效

• 申請號: 202021527368.0
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN212676230U
• 公開（公告）日: 2021-03-09
• 發明（設計）人: 楊富可;楊浩;蘭升友;張嘉修
• 申請（專利權）人: 重慶康佳光電技術研究院有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 白雪

1.一種晶圓存儲裝置，其特征在于，包括：

箱體，具有腔體，且所述箱體設置有惰性氣體進口和開口，所述開口用于使晶圓進出；

門體，設置在所述箱體的所述開口處，所述門體用于控制所述開口的開閉；

惰性氣體供應單元，與所述惰性氣體進口相連通，且所述惰性氣體供應單元用于向所述箱體內吹掃惰性氣體。

2.如權利要求1所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述箱體內設置有分隔壁，所述分隔壁將所述腔體分隔為晶圓存儲腔和進氣腔，所述晶圓存儲腔和所述進氣腔相連通，且所述進氣腔與所述惰性氣體進口相連通，所述晶圓存儲腔用于存儲晶圓。

3.如權利要求2所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述晶圓存儲腔包括至少一個子存儲腔，所述子存儲腔中設置有晶圓載片臺，且所述子存儲腔與所述進氣腔相連通。

4.如權利要求3所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述子存儲腔對應的所述分隔壁還設置有至少一個進氣通道，所述子存儲腔通過所述進氣通道與所述進氣腔相連通。

5.如權利要求4所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述晶圓存儲裝置還包括噴氣單元，所述噴氣單元一一對應設置在所述進氣通道的出口處。

6.如權利要求5所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述噴氣單元朝向所述晶圓載片臺設置。

7.如權利要求3至6中任一項所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述箱體還設置有排氣口，所述子存儲腔與所述排氣口相連通。

8.如權利要求7所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，

所述箱體包括：

第一側壁，具有所述開口，所述門體對應所述開口設置；

第一頂壁，與所述第一側壁相連，所述第一頂壁設置有所述惰性氣體進口；

第一底壁，與所述第一側壁相連，所述第一底壁與所述第一頂壁相對設置；

所述分隔壁包括：

第二側壁，設置在所述腔體中，所述第二側壁與所述第一側壁及所述第一底壁相連；

第三側壁，設置在所述腔體中，與所述第二側壁相對設置，所述第三側壁與所述第一側壁及所述第一底壁相連；

第二頂壁，設置在所述腔體中，所述第二頂壁與所述第一頂壁之間具有間隙，且所述第二頂壁與所述第二側壁及所述第三側壁相連；

其中，所述第二頂壁、所述第二側壁、所述第三側壁、所述第一側壁及所述第一底壁圍繞形成所述晶圓存儲腔，所述第一頂壁、所述第一側壁、所述第一底壁、所述第二側壁及所述第三側壁圍繞形成所述進氣腔。

9.如權利要求8所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述排氣口包括至少一個，且各所述子存儲腔對應的所述第一側壁上均設置有所述排氣口。

10.如權利要求1至6中任一項所述的晶圓存儲裝置，其特征在于，所述晶圓存儲裝置還包括自動控制單元，所述自動控制單元與所述門體電連接，所述自動控制單元用于控制所述門體進行開閉。