[實用新型]一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝

有效

• 申請號: 202021526806.1
• 申請日: 2020-07-28
• 公開（公告）號: CN212713841U
• 公開（公告）日: 2021-03-16
• 發明（設計）人: 鄭偉揚;王思鋒
• 申請（專利權）人: 寧夏協鑫晶體科技發展有限公司
• 主分類號: C30B15/04
• 分類號: C30B15/04;C30B29/06
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 徐芝強;肖明芳

本實用新型公開了一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝，包括聚四氟乙烯材質的漏斗，以及石英材質的導流管；所述漏斗的底部設有內螺紋，所述導流管的頂部設有外螺紋，漏斗與導流管通過內外螺紋可拆卸的連接。導流管的底部設有石英材質下口加強環；導流管靠近漏斗的端部設有聚四氟乙烯材質的保護環，保護環下方還設有石英材質的支撐臺。該摻雜工裝采用分體式結構設計，其上部為聚四氟乙烯漏斗，下部為石英導流管，兩者采用螺紋連接可有效降低采購成本，且易于拆卸、組裝及清洗。石英管損壞后僅更換下部石英管降低了使用成本。該工裝選用材料均為高純度材料可有效避免該工裝對于多晶硅原料的污染。

技術領域

本實用新型屬于單晶制備領域，具體涉及一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝。

背景技術

單晶硅棒電阻的控制主要是通過母合金為載體將摻雜元素加入到多晶原料內。而隨著整個單晶行業的發展，摻雜元素的種類發生變更，目前主流是以純元素進行摻雜。純元素多為細小的顆粒狀，在使用二次加料器時部分廠家采用石英漏斗將純元素顆粒導入加料器內，該方案所采用的石英漏斗易磕碰損壞且采購成本較高。

實用新型內容

本實用新型所要解決的技術問題是針對現有技術的不足，提供一種結構簡單、使用壽命高、后期易維修保養且采購成本較低的加摻雜工裝。

為了實現上述目的，本實用新型采取的技術方案如下：

一種用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝，包括聚四氟乙烯材質的漏斗，以及石英材質的導流管；所述漏斗的底部設有內螺紋，所述導流管的頂部設有外螺紋，漏斗與導流管通過內外螺紋可拆卸的連接。

進一步地，所述導流管的底部設有下口加強環，其為石英材質；導流管的底部設有外螺紋，下口加強環內部設有內螺紋，下口加強環通過內外螺紋可拆卸的套接在導流管的底部，其起到結構強化、防止石英管下口磕碰損壞。

進一步地，所述導流管靠近漏斗的端部設有保護環，其為聚四氟乙烯材質，通過套接的方式固定在導流管上，主要起保護石英管，防止其搖晃撞擊在石英加料器上，同時起到固定作用，保持該工裝處于加料器中心位置。

進一步地，所述導流管位于保護環的下方，還設有石英材質的支撐臺，所述支撐臺設有內螺紋，導流管位于保護環的下方設有外螺紋，支撐臺通過內外螺紋可拆卸的套接在導流管上，其作為支撐上方的聚四氟乙烯保護環。

優選地，所述漏斗包括上方的圓錐部和下方的管體部，圓錐部和管體部一體成型；所述圓錐部的上方開口半徑為60～80mm；所述管體部的外徑為40～50mm。

優選地，所述導流管的外徑為25～35mm。

優選地，所述下口加強環的外徑為40～45mm。

優選地，所述保護環的外徑為185～195mm。

優選地，所述支撐臺的外徑為40～50mm。

有益效果：

本實用新型二次加料器加摻雜工裝采用分體式結構設計，其上部為聚四氟乙烯漏斗，下部為石英導流管，兩者采用螺紋連接可有效降低采購成本，且易于拆卸、組裝及清洗。石英管損壞后僅更換下部石英管降低了使用成本。該工裝選用材料均為高純度材料可有效避免該工裝對于多晶硅原料的污染。該摻雜劑工裝創造性的將兩種完全不同的材料結合到一起，各自發揮自己的特點，聚四氟乙烯漏斗材質自帶柔性可避免與石英加料器的磕碰，石英管高純且透明，當摻雜劑自漏斗處倒入后經石英管引流至加料器中部時可全程進行觀察，跟蹤摻雜劑加入的全過程，從而保證摻雜劑完全加入到多晶原料內，最終實現產品電阻的穩定可控。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型做更進一步的具體說明，本實用新型的上述和/或其他方面的優點將會變得更加清楚。

圖1為該用于單晶爐二次加料器加摻雜工裝的結構示意圖。